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平行双关节坐标测量机连杆微变形测量系统.pdf
第 ２９ 卷 第 １１ 期 电子测量与仪器学报 Voｌ．２９ No．１１
２０１５ 年 １１ 月 JOURNAL OF ELECTRONＩC MEASUREMENT AND ＩNSTRUMENTATＩON · １６２１·
Z
： １０．１３３８２ ／． ．２０１５．１１．００７
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平行双关节坐标测量机连杆微变形测量系统*
于连栋 鲁思颖 张 炜 赵会宁
（合肥工业大学仪器科学与光电工程学院 合肥 ２３０００９）
摘 要：为准确测量平行双关节坐标测量机零件弹性变形量，从而对由此引起的测量误差进行补偿，进一步提高平行双关
节坐标测量机测量精度和可靠性，介绍了一种基于 位移检测的杆件微变形测量方法，通过激光参考光束将变形量的测
ＰＳＤ
量转化为位移量的测量。 以 为核心搭建信号转换、采集及传输电路。 在 环境编写上位机软件分析测量数
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据。 使用 软件进行力学仿真分析提出测量系统应具备的精度指标及测量范围。 使用激光干涉仪标定系统响应特
ＡＮＳＹＳ
性，通过 ２ 等电压间隔输出实验测定 有效面积内的位移响应矩阵，采用 ２ 双三次样条插值法修正系统响应的非线
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性误差。 实验证实系统可实??? １．３２ μ （２σ）的位移测量精度。 可用于平行双关节坐标测量机杆件变形测量，且其安装尺
ｍ
寸较小，可以实现在线检测。
关键词： 微位移；平行双关节坐标测量机； ；变形；误差；样条插值
ＰＳＤ
中图分类号： ３６４ ＋．２ 文献标识码： 国家标准学科分类代码： ５１０．５０１５
ＴＮ Ａ
Measuring system of
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