薄膜界面粗糙对双晶摇摆曲线的影响.pdf

, ‘ 第 “ 卷 第 期 物 理 学 报 , 一, 年 月 ! , 薄膜界面粗糙对双 晶摇摆 曲线 的影响 欧阳吉庭 麦振洪 崔树范 中国 科 学 院物 理研究所 , 北 京 , 夕, 年 月 日 收到 用 射线衍射动力学 理论 , 模 拟计算 衬底上 认 , 超 晶 格和 单 层膜的 射线 双 晶 摇摆曲线 计算结 果表 明 薄膜界 而 粗 糙 对 单 层 膜的 衍射峰和 超晶格 的零 级衍 射 峰 影 响较小 , 但却明 显 影 响 单层膜 衍射干 涉条 纹 和 超 晶 格的 士 级 卫 星 峰 随 着平 均界 面粗糙度 的 增大 , 单 层膜衍射干 涉 条纹 强 度减 弱 并趋于 消失 超 晶 格的 士 级卫星峰变弱 并逐 渐展 宽 理论计算的模拟双 晶 摇摆 曲 线 与超晶格 实 验 曲线 比 较表明 高质量 匹 配 , 二 ‘, 。 。 , , 入 入 超晶格样品 的界 面 ! 存在约一个原 子 层 的 平均界 面 祖 糙 度 。 一 、 引 言 一 族 化 合物半 导体多 层膜作 为 重要的 光 电材 料 , 在 光 电器件方 面 有 广 泛 用 途 、 衬 底上 生长 。 多层 膜在 光纤通 信 微 波 器件等 高速 器件上 有 广阔 的前 、 景 , 其光 电 性 质与膜 的质 量 结构密 切相关 一 研究其 质量 影 响因素 对改善工 艺 条件 和