激光驻波场形成Cr原子沉积纳米光栅的初步实验研究.pdfVIP

第?卷第?????月 物理学 报 V01??56??No??3??March??2007 ??．．??／??／???／??．．? ?? PHYSICA ??? ⑥?? Chin??Phys??Soc?? 激光驻波场形成?原子沉积纳米光栅 ??????????????* 马 艳 张宝武 郑春兰 马珊珊 李佛生 王占山 ??????+ ??么笱?锢硐担?虾???? (2006??4??6????????2006??6??22????????????) 利用激光驻波场会聚原子沉积纳米结构的技术可以用来研制纳米结构长度传递标准．当激光驻波场的频率大 于原子的共振频率时，原子由于受到偶极力的作用将被会聚到驻波的波节处．采用了一种新的技术方案减小了实 验对大的激光功率的要求．利用激光驻波场会聚准直性较好的?原子，并使其沉积在硅基片上形成纳米光栅结 ??????????????????????????????????????????215nln?? 关键词：激光偶极力，纳米计量，原子沉积，蓝失谐 PACC??3280P??3380P??4250V ??????????????????????b?????????????????????? 1???? 言 长的一半．但是，由于?原子在空气中的化学不稳 定性使得沉积的纳米结构无法在真空室以外的环境 ????????????????0??1??100?尺度范围的物 下存在．因此，科学家们逐渐开始了对其他化学性能 质世界，目标是操纵原子和分子并直接用原子和分 更加稳定的原子的研究．??年，?????等人用 子制造具有特定功能的产品?．纳米计量涉及在这 ??????????????cr??????????????A?．??年， 个尺度范围内测量对象的间隔或位移并表征物体及 ????热擞肁?沧鞒隽送??墓庹そ峁箍?． 其表面形貌特征．各种纳米级科学测量仪器，特别是 ??年，???等人研制出了?原子的纳米结构旧』． 作为纳米科技主要测量和操作工具的原子力显微镜 国内已有单位进行相应的理论工作旧叫?．除理论研 ???蜕?璧缱酉晕⒕???等，由于受仪器工 究外¨??纠我们开展了这方面的实验研究，并研制出 作原理、测量对象和环境因素影响，用不同仪器检测 了初步的实验样品． 同一标样，或用同一仪器在不同环境下测量同一标 样，结果可能截然不同．因此，研制准确适用的纳米 2?????????? ???????????????????