浆料动态更新对硅片切割影响.docx

浆料动态更新对硅片切割影响 　　一、实验目的 　　1、分阶段添加浆料，提高砂浆切削力 　　2、降低硅片表面TTV值 　　3、通过动态更新浆料，最终减少浆料用量 　　二、实验方法 　　选用HCT线锯使用现用工艺满载切割多晶硅块。切割前添加400L新浆料进行切割，切割到60%在不停机状态下再添加100L新浆料，直至切割结束。 　　三、实验过程 　　硅片四车间3月15日——4月11日在机床Y71和Y72做砂浆分两步添加实验，现对此期间切割状况予以实验反馈，统计数据如下： 　 　　在此期间四车间的平均合格率为96.24%，A级品率为90.22%。 　　其中， 　　Y71—390由于导轮寿命将终出现大量切斜，导致合格率仅为93.61%；Y72—377由于收线轴断线从而出现大量翘曲，合格率低至为82.41%。Y72-412出现200mm切斜，合格率仅为78.62%，A级品.率为45.83% 　　除去意外的3刀切割数据，基本与车间的平均数据保持一致。 　　四、实验数据统计 　　1、切割完成后钢线的线损对比 　　 在切割结束后对切割过程中的20%、60%、100%三个不同的阶段进行钢线搜集并检测其线损。 　 　　结论：通过以上数据分析，在切割到60%添加浆料后，砂浆的切割能力有所提升，钢线的线损降低。 　　2、切割后砂浆的变化 　　密度 　　1）正常切割下砂密度变化曲线如下图所示： 　　2）实验中下砂密度变化曲线如下图所示： 　　回砂温度 　　1）正常情况下回砂温度变化曲线 　　2）实验中回砂温度变化曲线 　　结论：添加浆料后的回砂温度有略微变化，不影响整体切割。 　　砂浆电机的转速 　　1)正常情况下电机转速变化曲线 　　2）实验中电机转速变化曲线 　　结论：电机转速的变化，都在额定变化范围之内（1800rpm） 　　3、导轮的变化 　　导轮作为一个重要的载体，导轮一些参数的变化可以反映出切割过程中，浆料切割能力的变化。 　　1）导轮电机功率的变化 　　2）导轮温度的变化 　　从图片看，导轮温度变化、导轮电机功率变化不明显。在切割到60%添加100L新浆料，前后切割能力的变化不明显。 　　4、硅片表面质量 ??　在切割过程中比较稳定，硅片的质量有些改善：TTV与锯痕都有所降低。 　　普通机床切割硅片的TTV和锯痕数据统计： 　　 　　实验机床的TTV、锯痕部分测量数据(单位：um)： 　　切割编号 测量数目 TTV 锯痕 　　y71-388 4352 20.42 13.11 　　y71-392 2373 20.53 12.09 　　y72-382 1907 19.77 11.18 　　y72-383 2379 19.32 11.75 　　y72-380 4781 18.62 10.27 　　y72-387 1163 20.51 11.34 　　y72-377 2470 19.31 10.25 　　y72-378 2761 18.91 10.07 　　y72-359 1024 20.63 5.36 　　y72-366 1531 21.86 10.03 　　y72-372 3623 20.94 11.13 　　平均 2579 20.07455 10.59818 　　结论：通过本试验可以论证，分阶段添加新浆料，可以持续保持砂浆的切割能力，有效降低切割硅片的TTV的数值，从而还可以降低砂浆的用量，综合降低生产硅片的成本。（