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第五章_微传感器
微机电系统;第5章 微传感器;微传感器的基本概念;传感器的性能;MEMS与宏观传感器的比较;第一部分 机械量微传感器;压阻检测原理与特点;谐振检测原理与特点; 主要结构特征-膜片、双固梁；敏感机理-压阻、电容、谐振;1、电容效应压力微传感器;结构——闭环工作。R谐振子，E激励器，D振动信号检测器，A放大调频电路。谐振频率（固有频率）受被测量M的调制。 ;结构——北京航空航天大学微机械传感技术实验室，电阻热激励、电阻检测式。工艺解释 ; 主要结构特征-悬臂梁；敏感机理-压阻、电容、谐振;梁的频率设计——比系统高出几十倍
谐振梁结构、模态选择
支撑梁结构特征、双支撑的目的
交叉轴加速度解耦
气体压膜阻尼 ; 加速度值大——侵彻武器2×105g
响应速度快——汽车安全气囊，ms时间内完成反应
可靠性高; 作为微执行器的特点;三、硅谐振式微陀螺（MMG）; 完全轴对称谐振微结构及其应力释放 ; 结构特点 ;四、流动微传感器;热风速微传感器 ;第二部分 非机械物理量微传感器;1、霍尔器件 ;2、磁阻元件 ;施加偏场的方法
——解决线性化问题;3、磁通门 ;3、磁通门 ;4、磁微传感器性能对比分析 ;4、磁微传感器性能对比分析;二、热微传感器;2、热电偶;三、光微传感器;2、光纤传感器;3、光强传感器——光干涉传感器分类 ;第三部分 生物、化学成分微传感器;常用的结构形式;1、半导体气敏微传感器;应用;——当前主流工艺;——用SnO2粉末烧结成多孔厚膜 ;结构;2、电化学微传感器;3、生化成分的声学微传感器;模式对比;SAW气体传感器;SAW气体传感器;本章学习要求;本章重点难点
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