扫描能谱分析及扫描样品制备.ppt

五：X射线检测;§5-1波谱法及WDS 特征X射线波长与原子序数之间的关系用莫塞莱定律 表示： λ=B/（Z-C）2 B和C为常数 只要测出元素特征X射线的波长，便可求出原子序数 Z。波谱法测定特征X射线的理论依据是： 布拉格方程：nλ=2dsinθ 利用分光晶体对不同波长的X射线发生的衍射效应， 可以测定X射线的波长。 ; 波谱有标准晶体（已知面间距），分光晶体在每一个θ 角就有一个特定波长的X射线被衍射，分光晶体作直线和转 动，有计算机控制运动，可精确知道运动的距离Ｌ，来测定 波长。 Ｌ=2Ｒsinθ WDS有多块晶体(具有不同的面间距，对应被测元素的波 长)。用流气正比计数管计数，将X射线光子转为电子数，可 知道强度。 WDS测试时束流较大，分辨率好（可到几个ev），但测 试时间较长。;波谱工作示意图;;§5-2能谱法及EDS;;能谱构造示意图;; 能谱的分辨率检测 ;§X射线显微分析简介;;;b.面扫描：X射线强度调制CRT亮度，与X射线显微镜相似。 ;3.定量分析 利用非破坏行X射线技术可以在块状样品的~1μm3区域 内进行定量分析。分析样品时，可使用标样法或无标样法， 并且要考虑使用ZAF法或Φ（ρz）方法进行校正。 ; 4.波长谱仪和能量谱仪的比较 ;六：样品的制备和应用简介;取样及前处理;样品的安装;镀膜;生物样品的制备;断面样品制备;Si;;;;;;;;;;;;;;;;应用实例;;;;;;;;;;;;集成线路板;;木材;;;;;;;;;;;;;碳纳米管阵列;小肠绒毛;Pt纳米管;涂层与基体界面EDS分析结果 ;;;;;失效分析;;;;产品质量分析;烟壳上存在的各种缺陷可以用 扫描电镜很容易观察到;印刷板;; 谢谢大家！