第三章-扫描电子显微镜.ppt

;简称扫描电镜。 它不用透镜放大成像，而是以类似电视的成像方式，用聚焦电子束在样品表面扫描时激发产生的某些物理信号来调制成像。 ;花蕊的柱头;第三章 扫描电子显微镜（SEM）;1. 扫描电镜的优点;光学显微镜 VS 扫描电镜;2. 电子束与固体样品作用时产生的信号（重点）;2.1 弹性散射和非弹性散射;2.2 SEM中的三种主要信号;;其他信号;2.3 各种信号的深度和区域大小;2.3 各种信号的深度和区域大小;有效作用区：可以产生信号的区域。 电子有效作用深度：有效作用区的最深处。 有效作用区内的信号并不一定都能逸出材料表面、成为有效的可供采集的信号。 随着信号的有效作用深度增加，作用区范围增加，信号产生的空间范围也增加，信号的空间分辨率降低。 ;3.1 扫描电镜的工作原理（重点）;3.2 扫描电镜图像的放大倍数;4. 扫描电子显微镜的构造;4.1 电子光学系统;电子枪发???三个阶段;4.2 信号收集及显示系统;X-ray Detector;4.3 真空系统和电源系统;5. 扫描电镜衬度像（重点）;;陶瓷烧结体的表面图像;5.2 背散射电子像;背散射电子像与二次电子像的比较;信号接收器由两块独立的检测器组成。 对于原子序数信息来说，进入左右两个检测器的电信号，其大小和极性相同，而对于形貌信息，两个检测器得到的电信号绝对值相同，其极性恰恰相反。 将检测器得到的信号相加，能得到反映样品原子序数的信息；相减能得到形貌信息。 ;背散射电子探头采集的成分像（a）和形貌像（b）;6. 扫描电子显微镜的主要性能;6.1 分辨率;6.2 放大倍数; 6.3 景深 ;7. 样品制备;阴极;8. 扫描电镜应用实例;8.1 断口形貌分析;8.1 断口形貌分析 ;8.2 纳米材料形貌分析 ;8.2 纳米材料形貌分析 ;8.2 纳米材料形貌分析 ;8.2 纳米材料形貌分析;电子束与固体样品作用时产生的信号 扫描电镜的工作原理 扫描电镜衬度像（ 二次电子像、背散射电子像） ;10. SEM演示录像;思考题：