扩散炉控制系统介绍.PDFVIP

扩 散 炉 控 制 系 统 介 绍 我公司设计开发的扩散炉控制系统，采用进口可编程序控制器（PLC）做控制核心， 进口人机界面（触摸屏）作人机对话窗口，实时显示扩散炉状态，可通过屏幕操作设备，设 定参数以及各类提示信息。该控制系统是目前国内智能化程度最高的一种扩散炉智能控制系 统。 控制系统结构框图如下： 触摸屏 PLC 触摸屏 通讯 可编程序控制器 1# 2# （PLC） 模拟量模块 模拟量模块 送料 推拉舟 控制 控制 PLC 控制 通讯 电磁阀控制 温控仪 MFC MFC 电磁阀控制 1 2 3 1 2 3 电 MFC 电 MFC 磁 磁 1 2 3 阀 阀 1 1 2 3 驱动器 步进电机 加热控制 功率控制 温度检测 送料推拉舟控制 加 热 炉 体 MOTOR . PLC 为整个控制系统的核心元件，触摸屏为系统的显示，设定，操作界面；温控仪通 过数字通讯接口和 PLC 连接，实现温度的控制和检测；质量流量计和电磁阀在PLC 的控制之 下实现气路的控制和检测；送料推拉舟装置在 PLC 的控制之下实现自动运行。 第 1 页 / 共 4 页 作者：流浪汉 信箱： byp75120@ 扩 散 炉 控 制 系 统 介 绍 系统的主要部件及部件功能简述如下： 人机界面（触摸屏）：扩散炉控制系统的人机对话界面，用于输入和显示温控曲线，气路设定、实时 显示炉体实际温度、炉体各相关设备的实际状态、实时报警信息、设定和修改各工艺控制参数、推拉舟的 设定及运行操作、系统测温传感器偏差的修正和补偿……，都可以通过触摸屏来完成查看，设定，操作等 功能。 可编程程序控制器（PLC）：系统的智能控制核心单元，负责系统的工艺运行控制，温度检测，热偶 故障检测，超温报警，温控仪参数设定，推拉舟控制，气路质量流量计控制，气路故障检测，工艺要求各 种的联锁控制，实时报警等。 温控仪：采用进口温度控制仪表，透过数字通讯接口与控制核心（PLC）进行实时数据交换，在 PLC 的控制之下实现精确稳定的温度控制。 推拉舟送料系统：在 PLC 的控制之下，根据工艺设定自动控制推拉舟进舟，出舟和速度变化。