第二章激光干涉测量技术选编.ppt

激光测量技术Laser Measurement Technology;第二章 激光干涉测量技术 ;光波干涉条件;干涉数学表达式;光的相位与走过的光程有关：;§2.1 激光干涉测量长度和位移;以Michelson干涉仪为例:;二、干涉仪组成;（一）干涉仪光路系统;干涉仪的瞳和窗;干涉条纹的方向、形状、宽度、对比度、照度和干涉区域的深度仅取决于像空间的出瞳和出窗之间的相对位置。;比累对切透镜干涉装置;菲涅耳双棱镜干涉装置;（2）分振幅法;光栅衍射分光;直角棱镜反射器;4.典型的光路布置;两半反半透镜一体化光路;（2）整体布局;1.移相器;常用移相器种类;（2）阶梯板和翼形板移相;（3）金属膜移相;（4）分偏振法移相;2.干涉条纹的计数及判向原理;三、干涉条纹对比度;四、激光干涉测长的应用;2.Renishaw新型单频激光干涉仪;;3. 激光小角度干涉仪;改进:为消除偏心和轴系晃动等误差，并提高灵敏度，在对称直径位置上布置两个角锥棱镜;*;干涉仪产生的干涉条纹是光谱相干涉的结果，能否利用干涉条纹的信息去获得相干光谱的信息？也就是从分析干涉条纹得到参与干涉的光谱线的位置（波长）及其强度呢？;对于复色光谱：;傅立叶变换光谱仪的优点：能同时接收工作波段范围内的所有光谱，记录全部光谱时间与一般光谱仪器记录一个光谱分辨单位的时间相同，在不到1秒时间内完成全部光谱扫描。信噪比高，波长准确度高，分辨率高，杂散辐射低，以及光谱范围宽（从紫外、可见、近红外直到中远红外区）;单频激光干涉仪的特点：;解决方案：在某一光臂中引入一定频率的载波，被测信息通过载波传递：测量镜静止时，光电探测器的输出信号为载波频率的交流信号；测量镜运动时，输出信号的频率只在某一范围内增加或减少。使前置放大器可采用交流放大器，可以隔绝由于外界条件引起的直流电平漂移，可在现场稳定工作。;光学拍频原理：两个振幅相同、振动方向相同，且在同一方向传播，频率接近的两单色光叠加也能产生干涉，这种特殊的干涉称为光学“拍”。;光束通过偏振方向与y轴平行的偏振片，则x方向分量被截止，y方向分量通过。按光波叠加原理，通过偏振片后的光场为;一、Zeeman双频激光干涉仪;测量光束与参考光束会合后经过检片器P2后产生拍频。D1和D2探测到的两路拍频信号进行同步相减便得到多普勒频移信号。; 塞曼双频激光器频差1.5-1.8MHz，允许测量速度约为150mm/s。 ;测量角度;改进：用平面镜取代角锥棱镜组，提高干涉仪的测量分辨力，并扩大测量范围;测量空气折射率;则有;二、声光调制双频外差干涉仪;2.声光调制双频外差测振仪;§2.3 激光移相干涉测量技术;在双光束干涉中，用目视或照相记录方式来测量波面的误差，一般只能达到1/20到1/30波长的测试不确定度。;当参考波前与被测面干涉以后，干涉条纹的光强分布为;对每一点的傅里叶级数的系数，有;可求得波面面形;为提高测量可靠性，消除大气湍流、振动及漂移的影响，可以测量傅里叶级数的系数在p个周期内的累加数据，应用最小二乘法，系数表达式为;为提高测量可靠性，被测表面上任意点的波面W(x, y)的相对位相是由在该点的条纹轮廓函数的n×p个测定值计算得到的;3、可以极大地降低对干涉仪本身的准确度要求;三、激光移相干涉仪测试技术的应用;2.表面轮廓测量;由于采用CCD和计算机组成的数字图像采集系统，表面轮廓的坐标量被量化了，可以用数值积分的方法计算表面轮廓。将积分区间分成n等份，则积分步长为△=l/n，积??点