用像差逐项优化法装调离轴三反射镜光学系统.pdfVIP

光 学 学 报 第 卷 第 期 ， 年 月 ， 文章编号： （ ） 用像差逐项优化法装调离轴三反射镜光学系统 杨晓飞 张晓辉 韩昌元 （中国科学院长春光学精密机械与物理研究所国家光学机械质检中心，长春 ） 摘要： 在对复杂光学系统粗装调完成之后，利用自准干涉检验的办法，采集光学系统各视场的干涉图，然后用干 涉条纹分析软件算出整个系统波前误差，其量值用泽尼克系数来表示，通过泽尼克系数与系统的波像差的关系，判 断要调整的目标值，即当前在光学系统中占主导地位的波前误差，对主导误差优化，得到系统的失调量，由光学设 计软件确定其正确后，进行一次精密装调。然后进行多次这样的计算机迭代和优化，直到光学系统达到最好的调 整状态。运用此方法来装调大口径，长焦距离轴三反射镜系统，在波长 ! 等于 ! 时，该离轴三反射镜系统中 心视场波像差均方根值达到了 ! !， # 视场和 $ # 视场的均方根值分别为 ! ! 和 ! !。 关键词： 应用光学；计算机辅助装调；像差逐项优化；泽尼克系数 中图分类号： 文献标识码： （ ， ， ， ， ） （ ） ： ， ， ， ， ， ， ， ! ! ， ! !