铜铟镓硒薄膜的四元叠层法制备与表征.pdfVIP

铜铟镓硒薄膜的四元叠层法制备与表征.pdf

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铜铟镓硒薄膜的四元叠层法制备与表征.pdf

??29????2?? 深圳大学学报理工版 VoL ? ?耄? 201 ??月 JOURNAL ? ???? ????? SCIENCE AND ENCINEFRING ???? 2 【光电工程/??????? Engineering?? 铜铟镓硒薄膜的四元叠层法制备与表征 范 平,池京容,梁广兴,郑壮豪,张东平,蔡兴民,李定梅,陈天宝 深圳大学物理科学与技术学院,薄膜物理与应用研究所,深圳市传感器技术重点实验室,深圳??? ????????????????????Ga????????????????Cu??In??Se????BK7??????????Ga??Gu??In??Se?????? 层,在同一高真空环境下对四元叠层进行退火热处理,制备得到铜锢镓硒???薄膜太阳电池吸收层材 ??CIGS??????????x?????????????????????????????????????????????????????????????????????????? ??????????????????????????????????????????????????????Ga??????????????????CuInSe??(cIs)???? ??????Ga????????????CIGS??????????????????????Ga??????????????(Ga)=3??96????9??26???????? 射峰较强,结晶度较高,其中石???.?%,Ⅳ??/????????.?时,颗粒明显,大小均 匀平整,对应最大晶粒尺寸约为?.? ???庋Т?段?.? ?. 关键词:太阳电池;薄膜;离子束;热蒸发;晶体结构;光学性能;电学性能 中图分类号:? ????;? ? ????????????Adoi??10??3724??SP??J??1249??2012??02118 Preparation and ???????? ? ?? ?? films ? ????? ????? ??? FAN Ping????CHI??.??,??

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