3.6微细和超微细加工技术.pptVIP

第三章 先进制造工艺技术;一、概述;;;;;;电磁驱动装置（直线电机）工作原理;;;电极线沿着导丝器中的槽以5～10mm/min的低速滑动，可加工圆柱形的轴。如导丝器通过数字控制作相应的运动，还可加工出各种形状的杆件。;;要求：定位精度 0.1μm，重复定位精度 0.01μm 导轨：硬质合金滚动体导轨，或液（气）静压导轨 工作台：粗动 — 伺服电机 + 滚珠丝杠 微动 — 压电晶体电致伸缩机构;利用氩（Ar）离子或其它带有 10keV 数量级动能的惰性气体离子，在电场中加速，以极高速度“轰击”工件表面，进行“溅射”加工。;;◎离子束溅射去除加工可用于非球面透镜成形（需要5坐标运动），金刚石刀具和冲头的刃磨，大规模集成电路芯片刻蚀等。;;;;;;;;;;（2）隧道电流反馈控制;;;; AFM实物照片;精密传感器;高精度双轴定位平台;气浮导轨;X-Y微动平台;X-Y-θ PZT微动平台;PZT Drive 外???构： Z-Θx 两自由度运动 中机构： X-Θy-Y-Θz 四自由度运动 ;;;;;;本节结束