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纯臻净化工程 探讨洁净车间等级标准要求 air cleanliness class 洁净空间单位体积空气中，以大于或等于被考虑粒径的粒子最大浓度 限值进行划分的等级标准。用空态和静态方法进行测试。洁净空间单位体积空气中，以大于 或等于被考虑粒径的粒子最大浓度限值进行划分的等级标准。世界各国均有自定规格，但普 遍还是用美国联邦标准 209 为多，以下仅就 209D 及 209E 和世界上其它各国制定标准作介 绍与相互比较。209E 与 209D 等最大之不同在于 209E 表示单位增加了公制单位，洁净车 间等级以‵M′字头表示，如 M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推，配合国际公制单位之标准 化，M 字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中=0.5μm 之微尘粒子数目字以 10 的幂次方 表示，取指数为之，若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间，则以 1.5、2.5、3.5…. 表示。 美国联邦标准 FS 209D 都以英制每立方英呎为单位，日本则是采用公制，即以每立 方公尺为单位，以 0.1μm 微粒子为计数标准