1现代传感器技术基础与应用-3选读.ppt

;3.1 多维测力弹性体系统 3.2 膜片压力传感器 3.3 光纤压力传感器 3.4 转矩传感器;力学量通常是指狭义力学量：力、力矩、应力、压力等物理量。 力学量传感器，又称力敏传感器，是应用最广泛的一类传感器。 力学量作用的结果 使器件结构尺寸变化，引起相关的电阻、电容、电感等电参量变化，构成结构型传感器。 引起器件物理性能变化，如压阻效应、压电效应、压磁效应等，构成物性型传感器。 ;3.1 多维测力弹性体系统;3.1.1 双量程动态测力弹性体系统;双量程测力传感器结构 ;3.1.1 双量程动态测力弹性体系统;3.1.1 双量程动态测力弹性体系统;3.1.1 双量程动态测力弹性体系统;3.1.1 双量程动态测力弹性体系统;;3.1.1 双量程动态测力弹性体系统;3.1.1 双量程动态测力弹性体系统;3.1.1 双量程动态测力弹性体系统;3.1.1 双量程动态测力弹性体系统;3.1.1 双量程动态测力弹性体系统;3.1.1双量程动态测力弹性体系统;3.1.3 六维测力弹性体系统;三垂直筋结构 ;筒形结构 ;十字交叉梁式结构;组合式弹性体结构;3.2 膜片压力传感器;3.2.1 薄膜应变片;3.2.1 薄膜应变片;3.2.1 薄膜应变片;3.2.1 薄膜应变片;3.2.1 薄膜应变片;结构：基片－绝缘层－敏感层。 基片多为导电的金属弹性材料； 中间沉积一层绝缘介质，如Si3N4薄膜或双层Ta2O5+SiO2介质膜；;薄膜应变片测量应变的机理利用的是敏感材料的压阻效应。在应变的作用下: 一方面，材料发生几何形变引起材料的电阻发生变化； 另一方面，因材料晶格的变形等因素引起材料的电子自由程度发生变化，导致材料的电阻率变化，从而使材料的电阻发生变化。 ; 薄膜应变片的敏感薄膜是器件的关键部分，制作敏感薄膜的工艺有溅射、蒸发、沉积等。由于溅射的分子具有很大的能量，不像蒸发只是凝结在表面，故附着力强，膜的性能好。 敏感层的材料各有不同，合金薄膜应变片使用的是金属合金，如Ni－Cr，半导体薄膜应变片的敏感材料则是Ge,Si。 ;3.2.2 E形膜片;E形膜片的硬中心将均布压力转换为集中力，在小位移下易产生较高应力。相对平膜片，增加了有效面积，在膜片应变式压力传感器中有广泛应用。; 图为E形膜片的应力分布，最大弯曲应力在r=R和r=r0膜片上表层处，计算公式为 ;E形膜片改善了平膜片因大挠度带来的非线性误差问题。 常采用E形膜片作为差压传感器的敏感器件，差压传感器不同于压力传感器，所测差压值（压差）比较小，而在膜片两侧有很高的静压值，要有过压保护装置。;3.3 压电式压力传感器;3.4 光纤压力传感器; 3.4.1 光纤基础知识;2.光纤的种类 ??? 按纤芯和包层材料性质分类： 石英光纤 塑料光纤 液芯光纤 多组分光纤 ;2.光纤的种类 按折射率分： 阶跃型光纤 渐变型光纤 W型光纤;按光纤的传播模式来分： 多模光纤 单模光纤 光纤传输的光波，可以分解为沿纵轴向传播和沿横切向传播的两种平面波成分。后者纤芯和包层的界面上会产生全反射。当它在横切向往返一次的相位变化为2π的整数倍时，将形成驻波。形成驻波的光线组称为模； 它是离散存在的，亦即某种光纤只能传输特定模数的光。通常纤芯直径较粗时，能传播几百个以上的模，二纤芯很细时，只能传播一个模。前者称为多模光纤，多用于非功能型(NF)光纤传感器；后者是单模光纤，多用于功能型(FF)光纤传感器。;3.传光原理 光的全反射现象是 研究光纤传光原理的 基础。根据几何光学 原理，当光线以较小 的入射角θ1由光密介 质1射向光疏介质2(即n1＞n2)时，则一部分入射光将以折射角θ2折射入介质2，其余部分仍以θ1反射回介质1。;4.光纤的特性 信号通过光纤时的损耗和色散是光纤的主要特性。 (自学）;5. 光纤传感器的工作原理及组成 1）工作原理 光传输过程中，外界因素（压力、温度、振动、电磁场等）对光纤的作用，会引起光纤光波特征参量(如光强、相位、频率、偏振及波长)的变化。如果能测出光波特征参量的变化，就可得到导致光波参数变化的被测量的大小。;2） 光纤传感器的分类 （1）按照光纤在传感器中的作用可分为： 功能型：光纤既起传光作用，又起测量敏感元件作用。 它是利用光纤本身对外界被测对象具有敏感能力和检测功能这一特性开发而成的传感器。光纤不但起到传光作用，而且在被测对象作用下，诸如光强、相位、偏振态等光学特性得到了调制，空载波变为调制波，携带了被测对象的信息。 ;;非功能型：只起传光作用，入射出射光纤之间另有敏感元件。 光纤只当作传播光的媒介，对待测对象的调制功能是依仗其它物理性质的光转换敏感元件来实现