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Company Confidential;
回顾第一次培训的内容(OTD及生产报表)
回顾第二次培训的内容(生产周期及排产调查);1.OEE介绍
设备综合效率
公式:OEE=合格产量的理论加工总时间/负荷时间
OEE是一个评价指标:
时间开动率反映了设备的时间利用情况;
性能开动率反映了设备的性能发挥情况;
合格品率则反映了设备的有效工作情况。
反过来讲:
时间开动率度量了设备的故障、调整等项停机损失;
性能开动率度量了设备短暂停机、空转、速度降低等项性能损失;
合格品率度量了设备加工废品损失。
; 2. 公司OEE
现有产能模型计算中:
OEE=设备利用时间/日历工作时间(24小时*30天);
因此我们所说的OEE并不是前面讲的OEE;而是设备可利用率;
设备可利用时间:又分为设备理论可利用时间与设备实际利用时间;
相应地,OEE也分为理论OEE与实际OEE
设备理论可利用时间:就是日历工作时间中除去必要的保养/PM及故障时间
其它时间设备是完好的,理论上都应可以利用;也就是Uptime时间;
设备实际利用时间:生产中设备实际利用的时间;设备理论可利用时间并不能100%
被利用;这是因为在生产中,流水均匀性问题,待料/空转等可能无法避免;
所以在我们公司:
实际OEE=设备实际利用时间/日历工作时间;
理论OEE=设备理论可利用时间/日历工作时间; 也就是Uptime;
;OEE计算方法:实际OEE=设备实际利用时间/日历工作时间;理论OEE=设备理论可利用时间/日历工作时间; 也就是Uptime;1、通过MES系统导出数据:(已转化为百分比) ;3.如何提高OEE;4. PHO设备
(按照岗位分配)
---匀显
---曝光
---检验;
4.1 匀显设备:
HMDS :S2248,S2250 30-45分钟一炉, 通量200片。备用设备?
产能=24*WPH*OEE
何为WPH?每小时的晶片加工量
匀胶:目前13轨投入使用,6寸5轨,5寸8轨 ,2台新设备待投入。
S2241,S2242,S2243,S2244,S2245,P2229
基本上45-60分钟/批,每轨大概提供700片/天
显影: 3台MARK7, 50-60分钟每批。
一台槽显S2146
S2247、S2258
每台产能980片
;4.2 曝光
设备类型: NIKON,UT,总共22台,其中UT(7),NIKON(15)
1. NIKON分类:
G6加工AL前层次,但PAD,PA,SPX的LB(SWR)
I7 加工AL后层次 ,SPX:LA,LB,VA,注意:MS1610/MS1611
SLIC:AA、DN、CO、LA、LB、PY、VA、GT
P2259、P2201、02、P2227、P2224、25、26、S2231、S2235
S2230、S2233、S2232、S2234、P2260、P2203
I7产能 300片,G6产能 500片
2. UT
5寸目前4台 S2236、37、40、P2223
6寸目前3台 S2238、S2239、S2257
UT产能480-500片。;4.3 检验
---- P2210
SPX除AA外的所有层次
SLIC的所有层次
LV的NN
----S2522
LV除NN外所有层次
HV
SPX的AA
;5. 讨论:
1. 如何针对光刻设备特点排产。
2. 上道工程送片要求及可行性操作。
3. 返工片如何追踪处理。
4. 光刻班长需求?
5. OEE对生产操作的 要求。
6. 内容回顾
班长讲解
;Company Confidential
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