太阳能光伏多晶硅铸锭炉热场的设计.doc

太阳能光伏多晶硅铸锭炉热场的设计作者:陈国红等 编辑:xzj  多晶硅铸锭炉是用于铸造大型多晶硅锭的设备，它是将硅料高温熔融后通过定向冷却冷凝结晶，使其形成向向一致的硅锭，从而达到太阳能电池生产对硅片品质的要求。太阳能电池生产完整的产业链如同1所示。从图中可以看出，多晶铸锭是整个光伏产业链中的基础工序。 图1 太阳能电池制造的典型工艺流程 多晶硅铸锭炉的工作原理：将多晶硅料装入有涂层的坩埚内放在定向凝固块上；关闭炉镗后抽真空，加热待硅料完全熔化后，隔热笼缓慢往上提升，通过定向凝固块 将硅料结晶时释放的热量辐射到下炉腔内壁上，使硅料中形成一个竖直温度梯度。这个温度梯度使坩埚内的硅液从底部开始凝固，从熔体底部向顶部生长。硅料凝固 后，硅锭经过退火、冷却后出炉完成整个铸锭过程。 热场是多晶硅铸钻炉的心心脏，其内装石墨加热器、隔热层、坩埚和硅料等。多晶硅工艺生产过程必须通过加热室的调整来实现，因此，多晶硅铸锭炉加热室的结构设计显得至关重要。 1 加热方式分析 为使硅料熔融，必须采用合适的加热方式。从加热的效果而言，感应加热和辐射加热均可以达到所需的温度。如果采用感应加热的方式，由于磁场是贯穿硅料进行加 热，在硅料内部内部很难形成稳定的温度梯度，破坏晶体生产的一致性,而采用辐射加热可以对结晶过程的热量传递进行精确控制,易于在坩埚内部形成垂直的温度 梯度，因此我们优先采用辐射加热的方式。 2 加热器的设计 多晶硅铸锭炉加热器的加热能力必须超过1650℃，同时材料不能和硅材料反应,不对硅料造成污染，能在真空及惰性气氛中长期使用。符合使用条件可供选择的 加热器有金属钨、钼和非金属石墨等。由于钨、钼价格昂贵，加工困难,而石墨来源广泛，可加工成各种形状。另外，石墨具有热惯性小、可以快速加热，耐高温、 耐热冲击性好，辐射面积大、加热效率高、且基本性能稳定等特点，因此我们采用高纯石墨作为加热材料。根据盛装硅料坩埚的特点，加热器设计为如图2形状。 1.石墨加热板；2.石墨加热板；3.角接器；4.石墨电极；5.支承环；6、7、8.碳、碳螺栓、螺母 图 2 石墨加热器基本结构 2．1石墨加热器的设计计算 该炉基本参数： 额定功率：165 KVA： 最大线电流：3800A： 最大输出电压：25V。 加热器的接线方式(见图3)。 图3 加热器的接线方式 由I线=3800A，可得：I相=3800/ √3=2194A 则每个电阻的电流：IR =2194/2=1097 每个电阻的阻值：R=25/1097=0.0228欧 该加热器由4块加热板组成，则每块加热板电阻： R板=R*4/6=0.0228*4/6=0.0342欧 功率校核：P总=6V2/103R 代入得：P总=165KVA,符合额定功率指标。 2．2加热器表面负荷校核 由总功率可求出每块石墨加热板之功率为： P每块=165/4=41.25 KW 每块石墨加热板表面积： S=(21.2X47.0+5.8X4.8X2-9.6X36.4-0.5X3.14X4.8X4.8)X 3X2=3998.8cm2 石墨加热板实际表面负荷： W＝41.25X1000/3998.8＝10.32W/cm2 1600℃时，石墨加热器允许表面功率W=25W/cm 2，加热器设计符合要求。 2.3石墨加热器的应力校核 石墨在低温导热性良好，在高温时导热性下降，造成其表面与心部温度差使断面伸长不一致。产生热应力，从而导致石墨加热器损坏，故应计算其产生的热应力。 对于宽度比厚度大得多的板状电热元件：  式中：t中心为电热元件心部温度:t表面为电热元件表面温度，此处取t表面=1540℃ W为电热元件表面负荷,此处W=10.32W/cm2; b为板状电热元件厚度，此处b=0.02m; 为石墨导热系数，查石墨物理特性表，得376.8 KJ／(m·h·℃) 将各值代入，得： t中心=1540．285℃   3 隔热材料的设计 对于铸锭工艺而言,为了提高生产效率,要求设备的升温速度尽可能快;由于采用真空工艺,要求炉内温度的放气量尽可能少，缩短真空排气的时间;同时硅料中温 度梯度的形成还需要隔热层的精确提升实现,隔热层的质量要尽可能轻,以减少升降时的惯性而影响控制精度。综上所述对于隔热材料的选择要求是：耐高温、密度 低、导热小、蓄热量少、隔热效果好、放气量少、质量轻、膨胀系