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学兔兔 基于在线检测的曲面光学零件加工技术 ★ 口 刘长 明 口 戴 玉堂 口 崔健 磊 1．武汉 龙 安 集 团公 司 武汉 430074 2．武汉理工大学 光纤传感技术研究中心 武汉 430070 摘 要：提 出了一种基 于在 线面形检测与补偿加 工相 结合的光学曲面零件的超精 密加 工方法 ，在线面形检测 系统 由 空 气静 压 浮 动探 针 和 光 纤 式激 光 干 涉位 移 计 构 成 。利用 该加 工 方 法 实 际加 工 了一 个 光 学球 面零 件 ，其综 合 面形 精 度 达 到 了 P—V值0．41 nm。 关 键 词 ：曲面 光 学零 件 在 线检 测 补 偿 加 工 中图分类号 ：TH161 文献标识码：B 文章编号 ：1000—4998(2009)04—0070—03 随 着 工 业 技 术 的 快 速 发 展 ，超精 密 加 工 与 检 测 技 现 的 。实际 加 工 中 ，往往 需 要 加 工 、面形 检 测 、再加 工 ， 术 越 来 越 受 到 重 视 ¨。J。曲面 光 学 零 件 的 面 形 测 量 可 如 此 反 复 多 次 才 可 达 到 要 求3～I。如果 1 每 次 加 工 后 卸 分 为数 控 机 床 上 的 在 线 测 量 和 专 用 检 测 仪 器 上 的 离 线 下 工 件 进 行 离 线 检 测 ，不仅 浪 费 大 量 非 加 工 时 间 ，常常 测 量 。由于 刀 具 的 制 造 误 差 、刀具 在 加 工 过 程 中 的 磨 还 会 因 装 卸 过 程 而 产 生 新 的 定 位 误 差 ，不利 于 快 速 达 损 、加工 力 的 波 动 、主轴 头 或 工 作 台 的 微 小 振 动 以 及 环 成 高 精 度 的 目标 。因此 ，迫切 需 要 开 发 在 超 精 密 数 控 机 境 噪 声 等 的 影 响 ，均可 导 致 亚 微 米 级 的 加 工 误 差 。而曲 床 上 的 曲 面在 线 面 形 检 测 技 术 ，以提 高 曲 面 光 学 零 件 面 光 学 零 件 的 面 形 精 度 多 要 求 控 制 在 亚 微 米 ，无论 是 的加 工效 率 ，降低 生 产 成 本 。 单 晶 金 刚 石 车 削 或 者 精 密 磨 削 ，一两 次 走 刀 是 很 难 实 本 文 提 出 了 一 种 基 于 在 线 面 形 检 测 的光 学 曲 面 零 - k教育部 留学回国人员科研启动基金资助项 目(编号：教外 司留【2007 J 件 的 超 精 密 加 工 方 法 ，在线 面 形 检 测 系 统 应 用 了 空 气 24号)