动圈式磁悬浮工件台线圈阵列实时电流分配法则.pdfVIP

学兔兔 第 47 卷第 6 期 机 械 工 程 学 报 Vo l .4 7 N o. 6 2 011 年 3 月 JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING Mar. 2 0 11 DOI ：10.3901/JME.2011.06.180 动 圈 式 磁 悬 浮 工 件 台 线 圈 阵 列 实 时 电 流 分 配 法 则 张生果 朱 煜 尹文生 杨开明 张 鸣 (清华大学精密仪器与机械学系 北京 100084) 摘要：在多自由度磁悬浮工件台运动控制中，多自由度动力学解耦是至关重要的。解耦多自由度动力学需要将工件台动台所 受的力/ 矩分解到对应的运动自由度上。而由于永磁阵列磁场的准静态特性，力/矩分解只能通过线圈阵列实时电流分配来实 现。采用洛伦兹力法则的平面积分，建立多自由度动圈式磁悬浮工件台的力/ 矩分解模型；基于此力/ 矩分解模型和线圈阵列 热损耗最小原则，建立工件台线圈阵列实时电流分配法则；分析该法则的数值稳定性及其对产生的对应力/矩的误差影响。理 论分析和案例研究表明，该法则数值稳定性高,计算准确可靠，根据该法则对线圈阵列分配电流后产生的对应力/ 矩误差很小。 该法则可用于多自由度动圈式磁悬浮工件台力/ 矩分解、多自由度动力学解耦，从而实现对工件台的运动控制。 关键词：动圈式磁悬浮工件台 力/ 矩分解 线圈阵列 实时电流分配法则 条件数 数值稳定性 中图分类号：TG156 Coil Ar r ay Real-time Commutation Law for Magnetically Levitated Stage with Moving-coils ZHANG Shengguo ZHU Yu YIN Wensheng YANG Kaiming ZHANG Ming (Department of Precision Instruments and Mechanology, Tsinghua University, Beijing 100084) Abstract ：It is essential to decouple the multi- degrees-of-freedom dynamics for controlling a multi-degrees-of-freedom magnetically levitated stage with moving-coils. Decoupling the multi- degrees-of-freedom dynamics needs to decompose forces and torques acting on translator of the stage to their corresponding degrees-of-freedom. Force/torque decomposing can only be validated by real-time commutating the coil array because of the quasi-static magnetic field of the permanent magnet array. Firstly, the force/torque decomposing model is build by