单晶铜原子力显微镜加工过程亚表面变形层的分子动力学仿真.pdfVIP

学兔兔 第45卷第 1期 机 械 工 程 学 报 Vo1．45 N0．1 2009年 1月 JOURNALOFMECHANICALENGINEERING Jan． 2009 DOI：10．3901／JME．2009．01．174 单晶铜原子力显微镜加工过程亚表面 变形层的分子动力学仿真冰 张俊杰 孙 涛 闫永达 梁迎春 董 申 (哈尔滨工业大学机电工程学院 哈尔滨 150001) 摘要：建立了原子力显微镜针尖切削单晶铜的三维分子动力学模型，采用嵌入原子势模拟工件原子之间的作用，采用Morse 势模拟工件原子和刀具原子之间的作用。研究了工件材料的不同晶向和刀具切削方向、切削速度对工件亚表面变形层深度的 影响。引入了原子势能变形判据，通过分析不同变形区域内原子的势能变化判断工件变形程度。观察了不同切削状态下亚表 面原子势能的变化，发现工件材料晶向和切削方向对亚表面变形层深度有着显著影响。在切削速度为20~250m／s范围内， 切削速度对亚表面变形层深度没有影响。 关键词：原子力显微镜 纳米切削 亚表面变形层 分子动力学 中图分类号：TG501 M olecularDynamicsSimulationofSubsurfaceDeformedLayersin NanometricCuttingUsingAtomicForceMicroscopePinTool ZHANGJunjie SUNTao YANYongda LIANGYingchun DONGShen (SchoolofMechanicalEngineering，HarbinInstituteofTechnology,Harbin150001) Abstract：Three-dimensionalmoleculardynamicssimulationsofnanometriccuttingmonocrystallinecopperusingatomicforce microscope(AFM)pintoolareperformedtoinvestigatetheeffectofcrystalorientationofworkpiecematerial，andcuttingdirection andcuttingspeedoftoolonthedepthofsubsurfacedefomr edlayers．Embeddedatommethod(EAM)isusedtosimulatethe interactionbetweenworkpieceatoms，andMorsepotentialisusedtosimulatetheinteractionbewt eenworkpieceatomsandtool atoms．Thepotentialenergyvariationsoftheatomswithinthesubsurfaceregionsareobtainedinthecuttingprocess，adeformation criterionispresentedtoanalyzethevariationsofsubsurfaceatomspotentialenergyanddeterminesubsurfaceatoms deformationbehaviors． Thesimulationresultsrevealhtathtecrysmlorientationandcuttingdirectionhaveasignificnateffectonhtedepht ofsubsurfacedefomr ed layers．Moreover,thedepthofsubsurfacedefomr edlayersisnotaffectedbythecuttingspeedintherangeof20-250m ／