双轴磁通门传感器的仿真设计与制备.pdfVIP

维普资讯 学兔兔 双轴磁通门传感器的仿真设计与制备 口 杨志强 口 吴江妙 口 翁孟超 浙江师范大学职业技术学院 金华 321019 摘 要：微型磁通门传感器是一种利用PCB(印刷电路版)技术制作的新型磁通门传感器，磁芯为十字交叉状双轴结 构。介绍了传感器磁芯与线圈的组成结构，利用模拟软件Flux3D对传感器进行建模并仿真测试。最终制备的传感器尺寸为 58．1 mm×57．3 mm，测磁范围±60I~T，磁敏感度达到O．37mV／I~T。仿真结果与试验结果基本相符合，证明了仿真设计与制 备工作的可行性。 关键词：磁通门 传感器 仿真 制备 双轴 中圈分类号：TN409 文献标识码：B 文章编号：1000—4998(2008)05—0042—03 磁通门传感器是利用磁通门现象“ 来进行工作的 文中双轴磁通门传感器的基本结构如图1所示，它 磁性传感器件，当在磁通门传感器的励磁线圈中通一 由一个励磁线圈、四个感应线圈和两个直角交叉放置 交流电流时，产生的交变磁场和待测磁场共同作用，使 的磁芯组J~--V-面 PCB结构。平面励磁线圈参数为30 磁芯达到饱和，并在探测线圈中产生感应电压，通过测 m厚 ，30匝，线圈间距400 m。励磁线圈中的电流必 量和分析感应电压的变化可达到测量待测磁场的目 须足够大以便使粘结在 PCB板上的磁芯结构达到磁 的。而利用 PCB技术制备的微型磁通门传感器具有性 饱和。磁芯结构为交叉放置 ，保证了传感器对与 PCB 能优 良、体积小、重量轻、成本低、制备简单、低功耗等 板共面的磁场两个方向分量都比较敏感。每个磁场分 优点，并开始在地磁研究、地质勘探、空间磁场测量、小 量产生的感应电压都由两个感应线圈进行测量 ，感应 卫星定位、航空航海定位、武器侦察及材料元损探伤等 线圈的参数为17 m厚，21匝，线圈间距400 m。励磁 领域广泛应用 一1，成为磁通门器件新的发展方向。利 线圈和感应线圈分别位于PCB结构的不同层面上，层 用模拟软件对 PCB结构的仿真设计与试验结果能够 与层之间的间隔为50 ，线圈材料为铜。检测电路引 得到很好符合【· J，这种设计方法不仅效率高，而且省 脚在线圈两侧与中间下方制作 ，整个传感器尺寸为 时省力，节约成本，为双轴磁通门传感器件的结构设计 58．1 mm ×57．3 mm。 提供了一种新途径。 1 传感器基本结构 微型磁通门传感器一般由探头和接口电路组成。 探头包括磁芯、励磁线圈和感应线圈，磁芯由高磁导率 材料制成，常见的有单芯、双芯、环芯等结构，磁芯的结 构与性能直接影响到磁通门探头的性能。线圈结构主 要有平面和立体两种，平面结构是指线圈与磁芯平行 ， 典型的工艺流程是先做一种线圈，励磁线圈或感应线 圈，然后制作磁芯，最后再做另一种线圈；立体结构则 是像传统的磁通门一样线圈缠绕在磁芯上，其基本工 艺流程是先做下层线圈，所有线圈都只完成一半，然后 磁芯材料为商品牌号 Vitrovae6025的非晶铁磁合 制作磁芯，最后再做上层线圈。线圈的成分主要有铝和 金，它具有很高的磁导率 ( =105)和低的磁滞损耗， 铜，主要采用溅射、蒸镀、电镀、电铸、化学镀以及化学 并在外加磁场的情况下进行适当热处理 ，以便对磁滞 汽相沉积和电子束气相沉积等方法来制作。接口电路 回线形状进行优化，调整磁芯达到磁饱和所需的励磁 包括激磁电路和检测电路，激磁电路用来产生使磁芯