硅片边缘超声振动抛光实验装置的研究.pdfVIP

机械 设计 与制造 第 2期 l26 Machinery Design Manufacture 2015年 2月 硅片边缘超声振动抛光实验装置的研究 何 勃，郑关超 (辽宁工业大学 振动工程研究所，辽宁 锦州 121001) 摘 要：研制一种新型硅片边缘超声振动抛光装置，利用抛光振子超声振动所产生的能量对硅片边缘倒角斜面进行抛光 加工，以达到提高硅片边缘表面质量的目的。抛光振子的工作面与硅片一侧的整个倒角斜面完全接触，并且能够实现不 同工艺条件下的抛光实验。实验装置由抛光振子、振子的固定装夹装置、硅片的定位安装装置以及抛光压力和抛光液供 给系统组成。抛光振子由超声电机的振子改造而成，根据硅片尺寸及硅片边缘倒角斜面的角度确定抛光振子工作面的角 度，利用ANSYS软件对振子进行有限元分析，并对加工后振子进行了实际测试。该实验装置能够实现硅片与抛光振子之 间无宏观相对转动的实验，又能对抛光时间、抛光转速、抛光压力，抛光液流量等工艺参数进行控制，进而研究不同参数 对抛光实验 的影响。 关键词：硅片边缘；超声振动；行波；抛光振子；化学机械抛光 中图分类号：TH16；TB535；TN305．2 文献标识码：A 文章编号：1001—3997(2015)02—0126—03 StudyontheExperimentalApparatusofUltrasonicVibration PolishingforW aferEdge HEQing，ZHENGMei-chao (InstituteofVibrationEngineering，LiaoningUniversityofTechnology，LiaoningJinzhou 121001，China) Abstract：Anewapparatusofultrasonicvibrationpolishingfor redgeWaSdeveloped，usingultrasonicvibrationenergy producedbypolishingvibratortopolishsiliconwaferedgebevelinordertoreachthepurposeof improvingthequalityof w4eredgesusCace．TheworkingfaceofpolishingvibratorisincontactwithonesideofwaferedgebevelcompletelyanditCna realizedifferentpolishingexperimentsunderdifferentprocessconditions．Theexperimentalapparatus includespolishing vibratornadit’Sfixture，positioningdeviceofsiliconwafer，polsihingpressurenadpolishingfluidsupplysystem．Polsihing vibratorisreformedfromthevibratorofultrasonicmotor．Accordingtothesizeofsiliconwafernadit’sangleofe bevel， theshapeoftheworkingfaceaboutpolishingvibratorisdetermined．FEMnaalysisiscardedoutbyANSYSSofiwarebefore thevibratorbeingmachined，na dthentestsit．Th eexperimental papraatuscna conductexperimentswithoutmacrorelative rotation