MPXHZ6115大气压力测量试验.doc

内燃机测试技术试验 实验 MPXHZ6115大气压力测量试验 实验学时：2 实验类型：基础型 实验对象：本科生 一．实验目的： 了解半导体压力测量基本原理。 了解MPXHZ6115大气压力特性。 掌握MPXHZ6115大气压力测量电路实现 掌握MPXHZ6115大气压力软件算法推导。 二．实验原理及设备说明 1.半导体压力测量基本原理 由半导体压力敏感元件构成的传感器。对压力、应变等机械量进行信息处理的必要条件是把机械量转换成电学量,这种机-电变换装置就是压力传感器。半导体压力传感器可分为两类，一类是根据半导体PN结（或肖特基结）在应力作用下,特性发生变化的原理制成的各种压敏二极管或晶体管。这种压力敏感元件的性能很不稳定，未得到很大的发展。另一类是根据半导体压阻效应构成的传感器，这是半导体压力传感器的主要品种。早期大多是将半导体应变片粘贴在弹性元件上，制成各种应力和应变的测量仪器。60年代，随着半导体集成电路技术的发展，出现了由扩散电阻作为压阻元件的半导体压力传感器。这种压力传感器结构简单可靠，没有相对运动部件，传感器的压力敏感元件和弹性元件合为一体，免除了机械滞后和蠕变，提高了传感器的性能。半导体具有一种与外力有关的特性，即电阻率（以符号 表示）随所承受的应力而改变，称为压阻效应。单位应力作用下所产生的电阻率的相对变化，称为压阻系数,以符号表示。以数学式表示为半导体电阻承受应力时所产生的电阻值的变化(/R)，主要由电阻率的变化所决定，所以上述压阻效应的表达式也可写成常用半导体压力传感器选用N 型硅片作为基片先把硅片制成一定几何形状的弹性受力部件，在此硅片的受力部位，沿不同晶向制作四个P型扩散电阻,然后用这四个电阻构成四臂惠斯登电桥，在外力作用下电阻值的变化就变成电信号输出。这个具有压力效应的惠斯登电桥是压力传感器的心脏，通常称作压阻电桥硅膜片的一面是真空室，另一面导人进气歧管压力。硅膜片为边长3mm的正方形，它的中部经光刻腐蚀形成直径约2mm、厚约5μm的薄膜。薄膜周围有四个应变电阻，以惠斯登电桥方式连接，如图所示。 图压敏电阻式迸气歧管压力传感器原理由于硅膜片的一侧是真空室,所以进气歧管压力越高．硅膜片的变形越大，它的应变与压力成正比。附着在薄膜上的应变电阻的阻值与压力成正比变化，这样就可以利用惠斯登电桥把硅膜片的变形变成电信号。因为输出的电信号绎微弱，所以用混合集成电路进行放大后输出。它的特点是尺寸小，精度高，响应性好， 再现性、抗震性好,且生产成本低，所以得到广泛应用 图4 MPXHZ6115输出特性 3. MPXHZ6115大气压力测量算法 由MPXHZ6115输出特性知道，压力和输出电压关系如下： Vout＝Vs×（0.009p－0.095）±1.5％； 结合具体测量电路，输出电压一般直接送到控制AD口，因此大气压力测量算法主要是完成AD值和压力之间的换算。这里主要是从控制系统软件开发的角度实现上述算法。从控制系统软件的方面看，控制器一般采用8位或者16位微控制器，其处理的最大数值分别是255和65536,其中8位控制器还占有比较大的量，因此本次试验以8位控制器实现上述算法。 8位控制器指令结构简单，存储空间有限，因此必须考虑算法实现的执行时间效率和空间效率，其中执行时间效率最为重要，因为控制器一般还有其他的控制功能，控制器必须对采样到的信号进行计算，得出压力值，然后进行相关其他的算法，直到最后的输出控制。8位控制算法优化的几个准则如下： 尽量采用整数 尽量采用无符号数 尽量不采用除法指令（一些控制器根本没有乘除指令） 尽量汇编语言 处理数值尽量不超过最大字长 由上述原则可以明确，8位控制器不适合处理上面的带有小数的公式，为了实现8位控制器高效的完成同样功能，必须对上述公式进行算法推导。其基本过程如下： 本系统采用的AD为10位，电源电压位5V； Vout＝Vs×（0.009p－0.095）±1.5％； 不计误差，则公式变为： Vout＝Vs×（0.009p－0.095），故 Vout／Vs＝0.009p-0.095; 而根据AD转换接口原理可以知道； Vout／Vs＝ADresult／1024; 因此： ADresult／1024=0.009p-0.095 故得出压力公式为： ADresult／9.216+0.095／0.009=p; 也即： P= ADresult／9.216+0.095／0.009； 为了采用8位控制器实现上述算法，必须根据8位控制器的特点进行调整。由于尽量不采用除法，故基本上采用移位运算来实现，因此上面的公式可以进一步化成如下： P=ADresult×0.1085069+10.56 为了和二进制结合起来，因此对0.1085069进行二进制近似，近似如下： 0.1085069=7/