线聚焦无镜头式聚偏氟乙烯超声探头的研制及V（f,z）分析法在表面波波速测量中的应用.pdfVIP

学兔兔 第 47卷第 24期 机 械 工 程 学 报 Vb1．47 NO．24 20l1年 12 月 JOURNALOFMECHANICALENGINEERING Dec． 201l DoI： 1O．3901，JME．2011．24．001 线聚焦无镜头式聚偏氟乙烯超声探头的研制及 分析法在表面波波速测量中的应用木 何存富 吕 炎 宋国荣 吴 斌 李永春 ，2 (1．北京工业大学机械工程与应用电子技术学院 北京 100124； 2．成功大学机械工程系 台南 70101 中国台湾) 摘要：线聚焦式超声材料性质表征系统可以对水浸试样漏表面波或类漏表面波的相速度进行精确的测量，但鉴于传统超声显 微镜镜头的材料昂贵且制作困难，采用厚度为40lam的聚偏氟乙烯(Polyvinylidenefuoride，PVDF)压电薄膜作为激励／接收元 件，设计、制作两个应用于声学显微系统的线聚焦无镜头式PVDF超声换能器，其中心频率分别为5MHz和 11MHz。区别 于传统超声显微镜高昂的设备费用与利用单频 曲线测量空间振荡周期△z的方法，基于二维傅里叶变换开发出一种改进 的适用于宽频的gff,z)分析法，并发展建立一套成本较低的用于测量材料漏表面波波速的散焦试验系统。为测试换能器、算 法和整体系统的性能，对抛光熔融石英进行非接触式水浸超声试验，利用 gff,z)分析法提取出表面波波速，并将试验结果与 理论值进行对比，两者吻合较好。 关键词：超声显微镜 线聚焦 聚偏氟乙烯超声探头 ，=z)分析法 Design，FabricationofLine—focusLens—lessPolyvinylideneFluoride TransducersandApplicationsonM easuringSurface AcousticWaveswithV0r, AnalyticalMethod HECunfu Lr3Yan SONGGuorong WUBin LEEYungchun · (1．CollegeofMechanicalEngineeringandAppliedElectronicsTechnology, BeijingUniversityofTechnoloyg,Beijing100124； 2．DepartmentofMechanicalEngineering，ChengKungUniversiyt,Tainan70101，Taiwan，China) Abstract：Line-focus—beam ultrasonicmaterialpropertycharacterization system enablesaccuratemeasurementsonthephase velocitiesofleakysurfaceacousticwaves(LSAW)orrayleigh-typeleakysurfaceacousticwaves．Butinviewofthelensofthe conventionalacousticmicroscopy isexpensiveanddi~culttoproduce，new mehtodofdesignnadfabricationoftwo line-focus lens—lesspolyvinylidenefluoride(PVDF)trnasducersispresentedforacousticmicroscopy system utilizinga40 m thick piezoelectricPVDF film toconstructhteactiveelement．Thertnasducersin