基于横向场激励的高频压电超声换能器.pdfVIP

第23卷 第4期 传 感 技 术 学 报 V0l_23 No．4 2010年 4月 CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS Apr．2010 High FrequencyPiezoelectricUltrasonicTransducersBasedon LateralFieldExcitation ZHANGZhitian ，ZHANG Chao ，FENG Guanping ， ，1．DepartmentofPrecisionInstrumentsandMechanology，TsinghuaUniversity，Beijing100084，China．、 l2．ResearchInstituteofTsinghuaUnive~ityinShenzhen，Shenzhen518057，China ， Abstract：Thispaperpresentsthedesign．analysisandfabricationofLateralFieldExcitedPiezoelectricUltrasonic transducers．TheLateralfieldexcitationcouplingfactorsofthreedifferentkindsofpiezoelectricmaterials(LiNbO3， LjTal0 ．PMN-33PT)fora-modehavebeencalculatedwiththeExtendedChristoffel—Bechmannmethod．Itwasfound thatLiNbO3hadthemaximum piezoelectriccouplingfactorof28％ ．TheX-cutLiNbO3，whichhadthemaximumpi- ezoelectriccouplingfactor．waschosenofrthedesignofalateral fieldexcitedultrasonictransducer．Thecenterfre— quencyandbandwidthoftheultrasonictransducerwastestedusingthetraditionalPulse—EchoMethod．Theresults showedthatthecenterfrequencyofthis1ateralfieldexcitedultrasonictransducerwas34MHzandthe 一6dB band． widthwas14．4 ％ ．Both theoreticaland experimental workshaddemonstrated thatlateralfield excitation device couldbeusedforthedesignofhighfrequencyultrasonictransducers． Keywords：highfrequencyultrasonictransducer；lateralfieldexcitation；pulse—echomethod；lithiumniobate EEACC：2860A ；2860C；7230G 基于横 向场激励的高频压 电超声换能器木 张志甜 ，张 超 ，冯冠平 ，1．清华大学精密仪器与机械学系，北京 100084；、 ＼2．深圳清华大学研究院，深圳 518057 ／ 摘 要 ：介绍了一种基于横向场激励模式的高频压电超声换能器及其设计、分析和制作过程。采用扩展的Christoffel—Beeh． mann方法对 LiNbO 、LiTaO 和PMN一33PT三种不同压电材料的a模式横向场压电耦合系数进行了计算 ，发现这三种材料中 LiNbO 具有最大的LFEa模式压电耦合系数，为28％。采用具有最大压电耦合系数的x切LiNbO，设计并制作了基于横向 场激励的高频超声换能器，并采用传统的Pulse．Echo方法测试了该超声换能器的中心频率和带宽。实验测得