基于玻璃的流量传感器研究.pdfVIP

第23卷 第 11期 传 感 技 术 学 报 V0l_23 No．1l 2010年 11月 CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS NOV．2010 StudyofAirFlow SensorBasedonGlass YUBolin ，GONGHandong ，WANGring ，YUFahong ，1．DepatmentofElectronicCommunicationTechnology，ShenzhenInstituteofInformationTechnology，ShenzhenGuangdong518029， ＼2．StateKeyLabofSoftwareEngineering，WuhanUniversity，Wuhan430074，China Abstract：Inthisaritcle，anairmassflow sensorbasedonglasshasbeenpresented．Theadvantagesofthissensor aresimpleproductiontechnology；widetestrangeandstrongresistanceoffluidshock．Thetemperaturefieldindif- ferentconditionofthisflow sensorissimulatedthroughCFD software，andtherelationcurvebetweentemperature differenceandflowvelocityisobtained．Intheory，themaxmeasurableflow velocityofthisglassbasedflow sensor canreach10m ／s．Thesemi—conductortechologyhasbeenusedtoproducethisflow sensor，andtherelationcurve betweenoutputvoltagesingalandflow velocityisobtainedthroughtest．Whenflow velocityrangefrom 0to10m／ S，outputvoltagehasnosaturationphenomenon．Whentheflow velocityis10 m／s，theoutputsignalcanreacha· bout1．5V． Keywords：glasssubstrate；temperaturedifference；airflow sensor EEACC：7230；7320W doi：10．3969／j．issn．1004—1699．2010．11．006 基于玻璃的流量传感器研究术 余柏林 ，龚汉东 ，王 颖 ，余法红 ，1．深圳信息职业技术学院电子通信技术，广东 深圳 518029；、 ＼2．武汉大学软件工程国家重点实验室 ，武汉 430074 7 摘 要 ：提出一种基于玻璃的空气质量流量传感器，该传感器具有制造工艺简单、测试范围宽和抗流体冲击能力强的特点。 通过CFD软件模拟了传感器芯片在各种情况下的温度场分布，得到了流速与芯片上下游温差的关系曲线，理论分析表明基于 玻璃的流量传感器最大流可测速可达 10m／s。采用半导体工艺制备了基于玻璃的流量传感器，通过测试得到了芯片的输出 信号电压和流速的关系曲线 ，在流速范围为0～10m／s时，输出信号电压没有出现饱和现象。当芯片表面掠过流速为 10m／s 时，测得芯片放大信号电压可达 1．51V。 关键词 ：玻璃衬底；温差式；空气流量传感器 中图分类号 ：TP212．1 文献标识码 ：A 文章编号 ：1004—1699(2010)l1—1546-04 热式微型流量传感器是利用外热源对传感器加 学性能较差，特别是在 内燃机进气 门做周期性间歇 热电阻进行加热，气体流动时会改变加热电阻及其 开关及活塞作往复运动时，管道 中存在反复传播的 周围温度分布 ，通过测