基于电子印刷工艺的薄膜热电偶研制.pdfVIP

2014年 第33卷 第l期 传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies) 85 基于电子印刷工艺的薄膜热电偶研制 杨遂军，邬云晨明，于方舟，叶树亮 (中国计量学院计量测试工程学院，浙江 杭州310018) 摘 要：薄膜热电偶由于具有体积小、热容量小及响应速度快等优点成为近年来学者们研究的重点。薄 膜制备常用的方法有射频溅射法、离子镀膜法以及直流脉冲磁控溅射法等，但这些方法操作设备复杂，制 作时间长，效率低 ，成功率低且复现性差。用电子印刷工艺制备薄膜热电偶，将 Au，Pt的溶液化微纳米材 料印制在基板上，印刷成为Au—Pt薄膜热电偶，该方法操作方便快捷，对电极材料污染小。通过试验证明： 采用电子印刷工艺制备的Au—Pt薄膜热电偶符合 Au—Pt热电偶检定规程的要求，热 电偶精度高，重复性和 一 致性好。 关键词：电子印刷工艺；薄膜热电偶 ；微纳米材料；Au—Pt热电偶 中图分类号：TP212．1 文献标识码：A 文章编号 ：1000-9787(2014)01-0085-04 Research andfabrication ofthin film thermocouplebased on electronicprintingtechnology YANGSui-jun，WUYun—ehen—uring，YUFang—zhou，YEShu—liang (CollegeofMetrologicalTechnologyEngineering，ChinaJiliangUniversity， Hangzhou310018，China) Abstract：Thin—film thermoeouplehasmanyexcellentcharacteristics，suchassmallsize，smallheatcapacityand fastresponsespeed，inrecentyears，itbecomesthefocusofresearchscholars．Common preparation methodsfor thin—film thermocoupleareRF sputtering，ionplatingmethodandDC pulsedmagnetron sputteringmethod，etc． However，thesemethodsarecomplextooperate，andproductiontimeislongandefficiencyislow，successrateis low andreproducibilityispoor．Electronicprintingtechnologyisused toprepareAu-Ptthin film thermocouple． Solubilizedgold and platinum materials is printed onto substrate，and then printitto be Au—Ptthin film thermocouple．Thismethodisconvenient，andfastofroperationandlesspollution．Experimentsshowthat，theAu- Ptthin film thermocouplefabricated by electronic printing technoloyg meetsrequirementsofvertification regulation，precisionishig【h，repeatabilityandconsistencyisgood． Keywords：electronicprintingtechnoloyg ；thinfilm thermocouple