基于电容传感器的大型工件圆度误差测量系统.pdfVIP

2013年 第32卷 第7期 传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies) 89 基于电容传感器的大型工件圆度误差测量系统 李红民 ，董 晓 ，康岩辉 ，于永新 ，靳丽静 (1．山东建筑大学 信息与电气工程学院，山东济南 250101； 2．中国计量科学研究院 长度计量科学与精密机械测量技术研究所，北京 100013； 3．天津大学 计算机科学与技术学院，天津 300072) 摘 要：轴类回转工件的圆度误差是衡量机床加工水平的重要指标。针对大直径轴类工件无法采用传统 圆度仪进行圆度误差测量，介绍了三点法测量轴类回转工件圆度误差的理论基础、数学模型。采用非接触 式电容传感器进行微位移测量 ，介绍了传感器结构与测量电路基本原理，搭建了适用于圆度误差测量基于 电容传感器的硬件系统，应用虚拟仪器技术开发了可用于数据采集、线性校正、误差分离与评定的专用测 试系统。最后进行了测试实验，通过对多次测量数据的分析评定测量系统的可靠性与精度。 关键词：圆度误差；误差分离；误差评定；电容微位移传感器 中图分类号：TH71 文献标识码：A 文章编号：1000-9787(2013)07-0089-04 Roundnesserrormeasuringsystem 0flargeworkpiece l ·．· 木 baSed 0n capacitive sensor LIHong—min，DONGXiao，KANGYan—hui，YUYong—xin，JINLi-jing (1．SchoolofInformationElectricalEngineering，ShandongJianzhuUniversity，Jinan250101，China； 2．DidsionofM etrologyinLengthandPrecisionEngineering，National InstituteofMetrologyofChina， Betling100013．China； 3．SchoolofComputerScienceandTechnology，TianjinUniversity，Tianjin300072，China) Abstract：Roundnesserrorofaxialrotaryworkpieceisanimpo~natindexforevaluationofprocessinglevelof machinetools．Aimingatlarge xaial workpiece isunabletoadopttraditional roundnessmeasuringinstrument， theoreticalbasisandmathematical modelofthethree—pointmethodmeasuringxaialrotary workpieceroundness errorareintroduced．Non-contactcapacitivesensorisusedtodetectmicrodisplacement，structureofsensorand basicprincipleofmeasuringcircuitraegiven．Hardwraesystem suitbaleforroundnesserrormeasuringissetup basedoncapacitivesensor，andspecial measuringsystem isdevelopedbyvirtualinsturmenttechnologytorealize dataacquisition，linera