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基于电阻链移相的时栅高速测量方法研究

2015年 第34卷 第9期 传感器与微系统 (TransducerandMicrosystemTechnologies) 5l DOI:10.13873/J.1000--9787(2015)09-0051-04 基于电阻链移相的时栅高速测量方法研究 索龙博,陈锡侯,苟 李,张天恒,曹 焕 (重庆理工大学 机械检测技术与装备教育部工程研究中心 时栅传感及先进检测技术重庆市重点实验室。 重庆 400054) 摘 要 :针对时栅位移传感器因频率响应慢影响测量速率的问题,提出了一种电阻链移相结合数据处理 的方法。利用电阻链对时栅输出信号进行移相处理,采用多路模拟选择器和整形输出电路对移相后的信 号分时输出,运用可编程片上系统 (SOPC)技术进行数据处理和误差补偿。实验结果表明:采用该方法采 样频率由原来的400Hz提高到12.8kHz,大幅度提高了现阶段时栅位移传感器的频率响应,使传感器实现 了高速实时测量。同时能够有效地降低 了随机误差,对极内的误差峰一峰值由1.5”降低为0.8”,测量精度 提高了近 1倍。 关键词:时栅;电阻链;多路模拟选择器;可编程片上系统 中图分类号:TP206 文献标识码 :A 文章编号:1000-9787(2015)09-0051-04 Study0nmethodfortime-gratinghigh—speedmeasurement ■ 1 l l ● n ● · l ● DaSecl0n phase-sni ttln~ Otresistance CIIains suoLong·bo,CHEN Xi—hou,GOU Li,ZHANG Tian—heng,CAO Huan (EngineeringResearchCenterofMechanicalTestingTechnologyandEquipment, MinistryofEducation,ChongqingKeyLaboratory ofTime-GratingSensingandAdvanced TestingTechn ology,ChongqingUniversityofTechnology,Chongqing400054,China) Abstract:Aimingattheproblem thatmeasuringrateoftime—gratingdisplacementsensorisaffectedduetoslow rfequencyresponse,,amethodcombiningdataprocessingandphase—shiftingofresistancechainsisproposed.The outputsignaloftime·rg·atingisphase--shiftingprocessedbyresistancechainsandtimeshareoutputbymuhiplexers andshaping outputcircuit,and the SOPC technology is used fordata processing and errorcompensation . Experimentalresultsshowthattheoriginalsamplingfrequencyof400Hzcanbeimprovedupto1.28kHz。which cansubstantiallyincreasetherfequencyresponseofthetime—gratingdisplacementsensor ,andhigh-speedreal— timemeasurem

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