基于线阵CCD的光斑定位电路系统设计.pdfVIP

2013年 第 32卷 第 8期 传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies) ． 85 基于线阵 CCD的光斑定位 电路系统设计 刘恩超，邹 鹏，李 新，张艳娜，郑小兵 (中国科学院 安徽光学精密机械研究所 中国科学院通用光学定标 与表征技术重点实验室，安徽 合肥 230031) 摘 要：针对仪器设计和试验过程中光斑定位 目的的需求 ，设计了基于线阵CCD的驱动和信号处理电路 系统。选用TCD1703C线阵CCD作为位置传感器，分析了TCD1703C的驱动时序要求 ，介绍了使用CPLD 产生驱动方法和过程。在信号处理部分 ，介绍了高性能模拟前端处理芯片AD9845A的工作原理和采用相 关双采样进行信号采集的方法 ，给出了输出信号的传输和存储方法。在狭缝宽度测量和波长定位中进行 了验证。结果显示：线阵CCD电路系统可满足光斑定位的需求，狭缝的测量不确定度小于 1．0×10～，波 长定位的精度为 0．5nm。 关键词：光斑定位；线阵CCD；复杂可编程逻辑器件；相关双采样；积分时间 中图分类号：TP274 文献标识码：A 文章编号：1000-9787(2013)08-0085-03 Design oflightspotlocation circuitsystem basedon lineararrayCCD LIU En-chao，ZOU Peng，LIXin，ZHANG Yan-na，ZHENG Xiao—bing (KeyLaboratoryofOpticalCalibrationandCharacterization，AnhuiInstituteof OpticsandFineMechanics，ChineseAcademyofSciences，Hefei230031，China) Abstract：Aimingatdemandofspotlocationintheinstrumentdesignandexperiment，lineararrayCCD driving andsignalprocessingsystem aredesigned．Drivingtime sequencerequirementofTCD1703C whichisusedas positionsensorisanalyzed，andthegenerationmethodandprocessoftimingdriverusingCPLD arepresented．In signalprocessingsection．Theworkingprincipleofhigh—performanceanalogfront—endprocessingchip AD9845A andmethodusingcorrelated doublesamplingforsignalacquisitionraeintroduced，thestoragenadtrnasmission methodofoutputsignalisgiven．Thesystem isvalidatedbytheslitwidthmeasurementandwavelengthpositioning． TheresultsshowthatlineararrayCCDcircuitsystem Cna meetthedemandofspotlocation，theuncertaintyofslit measurementislessthan1．0×10～ andtheprecisionofwavelengthpositioningiswithin0．5am． Keywords：lightspotlocation；lineararrayCCD；CPLD；correlateddoublesampling；integraltime 0 引 言