基于虚拟仪器的动态非接触式硅片测试仪.pdfVIP

0 ， k 2010年 第29卷 第3期 传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies) 59 设 计 与 一制 ～ 造 基于虚拟仪器的动态非接触式硅片测试仪 颜友钧 ，李云飞 (1．苏州市职业大学 电子信息工程系。江苏 苏州215104； 2．苏州大学计算机科学与技术学院，江苏 苏州215002) 摘 要：阐述了动态非接触式硅片测试仪的原理、组成、功能和特点。从虚拟仪器的原理 出发，构建了基 于虚拟仪器的动态非接触式硅片测试平台，它将电容位移传感器测距技术、电涡流传感器体电阻测试技术 和红外光脉冲传感器半导体P／N极性测试技术进行有机的融合，不仅模拟了信号发生器、数字示波器、程 控电源、数字万用表等测试仪器，而且，还具有数据管理、运动控制、位置检测等功能，能对太阳能电池硅片 厚度、电阻率、P／N极性等参数进行高速、精确检测和动态筛选，是光伏产业大规模生产的必备之选。 关键词 ：虚拟仪器；动态测试；非接触式测量；电容传感器；电涡流传感器 中图分类号 ：TP206 文献标识码：A 文章编号：1000-9787(2010)03-0059-03 Non·contactdynam icsiliconwafertesterbased0n ● J 1 ● ■ 』 VlrtUaIlnStrUm ent YANYou-jun，LIYun—fei。 (1．ElectronandCommunicationEngineeringDepartment，SuzhouVocationalCollege，Suzhou215104，China； 2．SchoolofComputerscienceTechnology，SuzhouUniversity，Suzhou215002，China) Abstract：Principle，composition，functions and features of non—contact dynamic silicon wafer tester are presented．A dynamicnon—contactsiliconchiptestrigisdevelopedbasedonvirtualinstrument，whichincorporates shifttestingofcapacitancedistancesensortechnology，bodyresistance—testingtechnoloyg ofeddy-currentsensor andsemiconductorP／N polarity testing technology ofinfrared optical pulse sensor．The instrumentnotonly simulatesthetestinginsturmentssuch assignal generator，digital oscillograph，programmablepowersupplyand digitalmuhimeter，butalsohasthefunction ofdatamanagement，moving control，and location test，etc．Itis requiredbylarge—scaleproductionofphotovohaicindustry． Keywords：virtualinsturment；dynamictesting；non—contactmeas