基于虚拟仪器的薄膜材料拉伸测试系统.pdfVIP

134 传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies) 2010年 第29卷第4期 ?＼ ) ) 前沿技术 、0 基于虚拟仪器的薄膜材料拉伸测试系统 邢 星，朱玉田，吴 强，黄海涛 (同济大学 机械工程学院上海201804) 摘 要：光致弯曲薄膜材料在微机电系统中有着巨大的应用前景，而材料基本物理参数的测试是重要的 基础性工作。鉴于现有的薄膜材料拉伸测试机不能满足微尺度条件下的测试需要或者较为昂贵，设计出 一 种薄膜材料拉伸测试系统，能够精确均匀加载，并运用LabVIEW编程设计出拉伸测试虚拟仪器，实现数 据采集、分析、处理和存储，以及控制信号输出。该系统具有分辨率高的优点，位移分辨率和力分辨率分别 可达 1m和lmN，满足了微小尺度薄膜试验的需要。 关键词：拉伸测试；薄膜材料；力学性能；虚拟仪器 中图分类号：TP271．4 文献标识码：A 文章编号：1000-9787(2010)04-0134-03 Tensiletestsystem Ofthin-film materialbased0n - · l - · 』 带 virtualinstrum ents XINGXing，ZHUYu-tian，WUQiang，HUANGHai—tao (SchoolofMechanicalEngineering，TongjiUniversity，Shanghai021804，China) Abstract：Light·induced thin—film materials have greatpotential value in micro—electrom·cehanical—system (MEMS)andtestsofthebasicphysicalparametersofthin—filmmaterialareimportantfoundationalwork．whereas thepresenttensilemachinesinthemarketraetooexpensiveandcannotmeetthemeasurementnedesundermicro dimensions，atensiletestsystem ofthinfilm material isdesignedwhichcanactivateprecisenadsteadyload．And atensiletestvirtualinstrumentisprogrammedbyhbVIEW tocollect，analyze，processandstore thosedatain ． tests，nadoutputcontrolsignals．Thissystem hastheadvnatageofhighresolution of1Ixm nad lmN，thereby satisfyingtheneedofthemicro—dimensiontests． Keywords：tensiletest；thin-film material；mechanicalproperty；virtual instrument 0 引 言 致弯曲薄膜材料尺寸较小，而且，形状不规则的特点，有必 光致弯曲薄膜材料 的研究近年来取得 了突破性进 要开发出一种结构简单并能够满足测试精度和试验需要的 展，其所具有的