基于频分复用的多路微电容检测技术.pdfVIP

第23卷 第3期 传 感 技 术 学 报 Vo1．23 No．3 2010年 3月 CHINESE JOURNALOFSENSORSAND ACTUATORS Mar．2010 FrequencyM ultiplexing-BasedM ulti-AxisCapacitivePositionDetection foranElectr0staticallyLevitatedM icromotor FU Zhenbin，HAN Fengtian ，DUAN Guangwu (DepartmentofPrecisionInstrumentandMechanology，Tsinghm Universi0，Beijing100084，China) Abstract：Tomaintainthering—shapedmicrorotorelectrostaticallysuspended in the geometric centerofthe cavity shapedbythestatorelectrodes，asetofdifferentialcapacitance—basedpositionsensorsisusedtosensetherotor’Smo． tioninfivedegreesofrfeedom (DOFs)andutilizedtorealizeactiveelectrostaticsuspension．Basedonrfequency multiplexingmethod，asetofmicro—capacitancedetectingcircuitsispresentedwithanaim tosensethemotionofthe motorinfiveDOFs．Byapplyinghigh—rfequencysinusoidalcarriertoassociatedcontrol／sensingelectrodes，anampli— tude-modulatedsignalwhichindicatestherotor’Sposition ineachDOFisformedfrom thecommon electrodes．The amplitude-modulatedsignalsarethenamplified，demodulatedandlow-passfheredsequentiallyinordertoobtaina readoutvoltageoftherotorposition．Thepaperdescribestheoperatingprinciple，thedesignandtheperfomr ancee- valuationinbothsimulationandexperiment．Theexperimentalresultsshow thatthesensitivityis23．3V／pF，the bandwidthis10．58kHzandthezerostabilityislessthan0．1mV． Keywords：capacitancedetection；frequencymultiplexing；detectingsensitivity；zerostability；electrostaticlevitation EEACC：2130：7230 基于频分复用的多路微 电容检测技术 付真斌，韩丰田 ，段光武 (清华大学精密仪器与机械学系，北京 100084) 摘 要：为使静电悬浮微电机的环形转子稳定悬浮在定子电极腔体的几何中心，需要采用差动电容式传感器检测转子沿五 个 自由度的运动 ，然后通过静 电悬浮控制系统实现有源静 电支承。根据频分复用原理 ，设计了一套可检测悬浮式转子五个 自 由度运动的微电容检测电路。采用多路高频正弦信号作为载波加载至与各 自由度对应的控制／检测电极上，通过公共电极输 出反映转子沿各 自由度位移变化的调幅信号 ，然后经过交流放大、相敏解调、低通滤波后得到各 自由度位移检测信号。文中 介绍了微电容检测电路的组成及原理 ，分析了电路特性，给出了 轴检测电路的测试结果。实验表明，检测电路的灵敏度为 2