基于差分反射光谱的真空环境有机薄膜生长在线监测.pdfVIP

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基于差分反射光谱的真空环境有机薄膜生长在线监测

35 ,5                        Vol.35 ,No.5 , 1320-1324 pp 2 0 1 5 5                         Spectroscopy and Spectral Analysis May,2015   *   , ,,  ,  , ,  300072     。 ,。 ,。 、 ,,。 ,,2‰ 。 Au。 ,,。 ,(300~ 820 nm)、 (2× 10- 3 )、 (),、 , ,。   ;;; :O433.1    :A      DOI :10.3964/.issn.1000-0593(2015)05-1320-05 j flectancedifferencespectroscopy),DRS [4]   , 。 DRS,     /,、 、 、 [1] 、 、 。 。DRS20 60 [5-8] ,100 nm ,,、 ,, ,、 (10- 2 。 , )。 , SelciDRS, ,。 ,, [9] 、 。 ,(differential re- DRS[10 ,11] ,, flectance spectroscopy,DRS) 。 2005 , Fritz [2 ,3] 。 ,、 ,DRS0.75 mm 、 /,DRS ,, ,, ,、 ,,/ [12 ,13] 。 ,, ,。 (spectroscopicellipsometry)(re- ,,,、   :2014-04-25 ,:2014-07-28   : ,(201140 ) (11JCJBJC25700 )   :  ,, 1991 ,    e-mail: aoyao714@ tju.edu.cny *     e-mail:cghu@ tju.edu.cn 5                                         1321 。

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