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基于平板波导的小型红外光栅光谱仪光学
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第 卷 第 期 光 谱 学 与 光 谱 分 析
３５ ３ Vｏl．３５ Ｎｏ．３ ８４１-８４５
ｐｐ
年 月 ，
２ ０ １ ５ ３ S ｅｃｔｒｏｓｃｏ ａｎｄ S ｅｃｔｒａl Ａｎａl ｓｉｓ Mａｒｃｈ ２０１５
ｐ ｐｙ ｐ ｙ
基于平板波导的小型红外光栅光谱仪光学设计
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１ ２ １ * １ １ ２
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李扬裕 方勇华 李大成 刘 洋
，
１．中国科学院安徽光学精密机械研究所 安徽 合肥 ２３００３１
，
２．中国科学院大学 北京 １０００４９
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摘 要 为实现红外光谱仪器的小型化 通过分析现有小型光谱仪 提出了一种基于平板波导的小型红外
。 。 ，
光栅光谱仪的设计方法 平板波导光谱仪的小型化原理与一般的微小型光谱仪不同 在平板波导光谱仪中
， 。
光束被限制在一层薄薄的平板波导介质中传播 看起来像是整个光学系统被压扁了 在垂直于平板波导的
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方向上光学元件的尺寸可以做到很小 从而显著减小光学系统的尺寸 该系统的设计可分为 Ｃｚｅｒｎ -Ｔuｒｎｅｒ
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结构设计 波导结构设计 先根据像差理论设计 Ｃｚｅｒｎ -Ｔuｒｎｅｒ结构 目标是保证光谱分辨率及校正像差
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然后根据几何光学
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