基于工艺参数扰动的IC参数成品率多目标优化.pdfVIP

第１２期 电 子 学 报 Ｖｏｌ．４４ Ｎｏ．１２ ２０１６ 年１２月 ＡＣＴＡ ＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣＡ ＳＩＮＩＣＡ Ｄｅｃ． ２０１６ 基于工艺参数扰动的ＩＣ参数成品率 多目标优化算法 １，２ ３ ２ ３ 李 鑫 ，孙 晋 ，肖 甫 ，田江山 （１．江苏省安全生产科学研究院科技研发中心，江苏南京２１００４２；２．南京邮电大学江苏省无线传感网 高技术研究重点实验室，江苏南京２１００１３；３．南京理工大学计算机科学与工程学院，江苏南京２１００９４） 摘 要： 在芯片制造工艺中，参数扰动影响了集成电路（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ，ＩＣ）成品率，使不同参数成品率间存在 着此消彼长的相互制约关系，而目前ＩＣ参数成品率优化算法却主要局限于单一优化目标问题．本文提出一种基于工 艺参数扰动的参数成品率多目标优化算法．该算法针对漏电功耗成品率及芯片时延成品率，首先构建具有随机相关性 的漏电功耗及芯片时延统计模型；随后根据其相互制约特性建立基于切比雪夫仿射理论的参数成品率多目标优化模 型；最后利用自适应加权求和得到分布均匀的帕雷托优化解．实验结果表明，该算法对于具有不同测试单元的实验电 路均可求得大约３０个分布均匀的帕雷托优化解，不仅能够有效权衡多个优化目标间的相互制约关系，还可以使传统 加权求和优化方法在帕雷托曲线变化率较小之处得到优化解． 关键词： 可制造性设计；参数成品率；统计建模；多目标优化；帕累托最优 中图分类号： ＴＮ４７ 文献标识码： Ａ 文章编号： ０３７２-２１１２ （２０１６）１２-２９６０-０７ 电子学报ＵＲＬ：ｈｔｔｐ：／／ｗｗｗ．ｅｊｏｕｒｎａｌ．ｏｒｇ．ｃｎ ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．０３７２-２１１２．２０１６．１２．０２１ Ａ ＭｕＩｔｉ-ｏｂｊｅｃｔｉｖｅ Ｏｐｔｉｍｉｚａｔｉｏｎ Ｆｒａｍｅｗｏｒｋｆｏｒ Ｒｏｂｕｓｔ ＩＣ Ｐａｒａｍｅｔｒｉｃ ＹｉｅＩｄ Ｐｒｅｄｉｃａｔｉｏｎ Ｕｎｄｅｒ Ｐｒｏｃｅｓｓ Ｖａｒｉａｔｉｏｎｓ １，２ ３ ２ ３ ＬＩ Ｘｉｎ ，ＳＵＮ Ｊｉｎ ，ＸＩＡＯ Ｆｕ ，ＴＩＡＮ Ｊｉａｎｇ-ｓｈａｎ （１．ＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＩｎｎｏｖａｔｉｏｎ Ｃｅｎｔｅｒ，ＪｉａｎｇｓｕＡｃａｄｅｍｙｏｆＳａｆｅｔｙＳｃｉｅｎｃｅ ａｎｄ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｎａｎｊｉｎｇ，Ｊｉａｎｇｓｕ２１００４２，Ｃｈｉｎａ； ２．Ｊｉａｎｇｓｕ Ｈｉｇｈ ＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＲｅｓｅａｒｃｈ ＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｆｏｒ Ｗｉｒｅｌｅｓｓ ＳｅｎｓｏｒＮｅｔｗｏｒｋｓ，Ｎａｎｊｉｎｇ ＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＰｏｓｔｓ ａｎｄ Ｔｅｌｅｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎｓ，Ｎａｎｊｉｎｇ，Ｊｉａｎｇｓｕ２１００１３，Ｃｈｉｎａ；３．Ｓｃｈｏｏｌ ｏｆＣｏｍｐｕｔｅｒＳｃｉｅｎｃｅ ａｎｄＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，