第3章 电容式传感器精要.ppt

* (一)温度对结构尺寸的影响 三、误差分析 图3-16 电容测压传感器 绝缘材料 工作极片 固定极片 根据材料的线膨胀系数 ，适当地选择h1和h2可实现温度补偿。 * 理想：平行板电容器的电场均匀分布于两极板所围成的空间。 现实：边缘效应的影响相当于传感器并联一个附加电容，引起了传感器的灵敏度下降和非线性增加。 增大初始电容量，即增大极板面积，减小极板间距。 加装等位环 (二)电容电场的边缘效应 三、误差分析 * (三)寄生与分布电容的影响 三、误差分析 极板与周围物体(各种元件甚至人体)也产生电容联系 寄生电容 传感器特性不稳定 静电屏蔽，即屏蔽电缆 解决 产生新问题 电缆分布电容 * (三)寄生与分布电容的影响 三、误差分析 电缆分布电容 当屏蔽线较长时，其本身电容（分布电容）很大，往往大于传感器的电容量，使传感器电容相对变化量大为降低，导致传感器灵敏度显著下降。 电缆本身的电容量由于放置位置和形状不同而有较大变化，这将造成传感器特性不稳定 驱动电缆技术 原理是使用电缆屏蔽层电位跟踪与电缆相连接的传感器电容极板电位。 CX是传感器的电容 C0是放大器的输入电容 * (三)寄生与分布电容的影响 三、误差分析 该方法对1∶1放大器的要求是:输入电容等于零，输入阻抗无穷大，相移为零。在技术上实现上述要求比较困难。当传感器电容CX很小或与放大器输入电容相差无几时，会引起很大相对误差。 因此，该线路适用于CX较大的传感器。 ● ● -A U ● ○ C0 Cx U∑ U01 -Aa ● U02 等电位条件 * 三、电容式传感器的应用 电容式差压变送器具有构造简单、小型轻量、精度高(可达0.25%)、互换性强等优点。具有如下特点： ①变送器感压腔室内充灌了温度系数小、稳定性高的硅油作为密封液； ②为了使变送器获得良好线性度，感压膜片采用张紧式结构； ③变送器输出为标准电流信号； ④动态响应时间一般为0.2～15 s。 (一)电容式差压变送器 (a)二室结构 (b)一室结构图 * 三、电容式传感器的应用 (一)电容式差压变送器 (a)二室结构 测量膜片(或隔离膜片) 与被测介质直接接触； 感压膜片在圆周方向张紧为可动电极； 两边的测量膜片与中间的感压膜片分别构成一室，故称二室结构。 感压膜片与两个固定电极构成差动式球—平面型电容传感器CL和CH。 固定球面电极是在绝缘体6上加工而成。绝缘体一般采用玻璃或陶瓷，在它的表面蒸镀一层金属膜(如铝)作为电极。 感压膜片的挠曲变形，引起差动电容CL和CH变化，经测量电路将电容变化量转换成标准电流信号。 测量膜片 测量膜片 感压膜片 固定电极 固定电极 绝缘体 * 三、电容式传感器的应用 (一)电容式差压变送器 (b)一室结构 测量膜片与被测介质接触； 中心轴把测量膜片和可动平板电极连为一体； 片簧把可动电极在圆周方向张紧； 在绝缘体上蒸镀金属层而构成固定电极，并与可动电极构成平行板式差动电容。 在可动电极与测量膜片间充满硅油作为密封液，并有通道经节流孔将两电容连通，所以称为一室结构。 当两边被测压力不等时(PHPL)，测量膜片通过中心轴推动可动电极移动，因而使差动电容CL和CH发生变化。 测量膜片 测量膜片 可动平板电极 中心轴 绝缘体 固定电极 固定电极 节流孔 片簧 * 三、电容式传感器的应用 (一)电容式差压变送器 电容探头与待测表面间形成的电容为CX 式中 CX—待测电容； S —测头端面积； h —待测距离 运算法检测电路 为一常数 输出电压与待测距离h成线性关系。 * * * * 复数的三角函数表示 * 第3章 电容式传感器 电容式传感器是将被测量(如尺寸、压力等)的变化转换成电容量变化的--种传感器。在位移、压力、厚度、物位、湿度、振动、转速、流量及成份分析的测量等方面是到了广泛的应用。 特点： 测量范围大。相对变化量可达100% 灵敏度高，相对变化量可达10-7 动态响应时间短，可动部分质量可很小 机械损失小，无摩擦存在 结构简单，适应性强 * * * §3-1 电容式传感器的工作原理 用两块金属平板作电极可构成最简单的电容器。当忽略边缘效应时，其电容量为 式中 C—电容量； S—极板间相互覆盖面积； d—两极板间