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学兔兔 I 匐 似 基于PIC的静电消除控制系统 EIectrostatic eliminate control system based on PIC 缪红林，张新沂，郭惠选 MlA0 Hong．1in。ZHANG Xin．yi。GUO Hui．xuan (北京京东方光电科技有限公司设备技术部，北京100176) 摘 要：介绍一种基于PIC的脉冲AO静电消除控制系统，PIC控制高压板在电极针上产生高压，并在同 一 电极针上调整高压幅值、占空比、频率及交替产生正负离子，有效地控制静电消除器的除 静电时间和离子平衡。实验证明，该系统有效的消除静电，解决了传统去静电中易产生逆反 电荷和离子平衡差的缺点。 关键词：静电消除；PIC；高压；集成运放；AC 中图分类号：TN70 文献标识码：B 文章编号：1 009-01 34(201 3)1 2(上)-0022-02 Doi：1 0．3969／J．issn．1 009-01 34．201 3．1 2(上)．07 0 引言 块及高压反馈电路。该系统总体结构如图l所示。 在LCD生产领域中静电是影响产品良率的一 个及其重要的因素，从玻璃基板投入到CELL产 品出库的所有生产工艺中都需要消除静电且要求 高，特别是在ArrayI艺镀膜、曝光和刻蚀等工艺 过程中玻璃基板上的静电会将信号线熔断，造成 断路等ESD不良。现有的静电消除是利用空气电 离产生大量正负离子，利用风机将正负离子吹出 形成一股带有正负离子的气流，将物体表面所带 图1 静电消除系统硬件结构图 的电荷中和而达到消除静电的目的。离子产生的 方法可以分为以下四种方式：第一种为DC方式， PIC控制器控制高压产生电路，通过调整高压 该方式产生离子量较大，除静电速度快，但一根 模块输入电压的幅值、频率及占空比达到调整电 电极针只能产生一种离子，易导致产生逆反电 极针上高压幅值、正负离子交替产生的频率及正 荷，离子平衡差；第二种为AC方式，该方式使用 负高压产生的时问，从而完成了控制离子平衡及 一 个静电针交替产生正负两种离子，工作频率一 离子产生量；高压反馈电路实时监控电极针放电 般为5OK一60KHZ在正负电压切换时不产生离子， 产生离子过程，对放电异常进行报警处理。 产生离子量少，除静电速度慢；第三种为高频AC 2 系统硬件接口设计 方式，工作频率为60K~70KHZ，产生的正负离子 PIC18F6520单片机是美国Microchip公司生产 容易自身中和；第四种为脉冲DC方式，两个高压 粤 的8位微处理器，PIC单片机体积小，功耗低，而 直流电压施加在专用电极针上、周期性地切换正 且内部集成了多种外围电路，设计更加方便，无 负极，该方式产生离子量多，但离子平衡