基于数值模拟的超精密静压导轨静态特性分析.pdfVIP

第 3期 组 合 机 床 与 自动 化 加 工 技 术 NO．3 2015年3月 ModularMachineTool AutomaticM anufacturingTechnique M ar．2015 文章编号：1001—2265(2015)03—0024—03 DOI：10．13462／j．cnki．mmtamt．2015．03．007 基于数值模拟的超精密静压导轨静态特性分析术 崔海龙，赵午云，夏 欢，阳 红，张连新 (中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，四川 绵阳621900) 摘要：为了有效解决超精密静压导轨静态特性实验分析的难题，文章提 出了一种基于ANSYSw0rk— bench的静压导轨数值模拟方法。首先采用FLUENT模块完成流场分析 ，得到流体域的压力分布 ；然 后采用积分法得到油膜面的承载力，在此基础上采用逐差法得到油膜面的刚度值；接着分析 了节流 孔直径、供油压力及油膜间隙对承载力及刚度特性的影响规律 ；最后将流体域油膜面的压力分布耦 合到固体域的运动滑块上进行流