第三章 粒子(束)与材料的相互作用精要.docxVIP

第三章 粒子（束）与材料的相互作用 教学目的：1、掌握粒子（束）与材料之间的相互作用； 2、掌握粒子（束）与材料之间的相互作用产生的信号； 3、掌握粒子（束）与材料之间的相互作用产生的信号而派生出来的测试方法。 教学重点：1、粒子（束）与材料之间的相互作用产生的信号； 2、粒子（束）与材料之间的相互作用产生的信号而派生出来的测试方法； 3、其它的测试方法。 教学难点：1、粒子（束）与材料之间的相互作用； 2、粒子（束）与材料之间的相互作用产生的信号。 第一节 电子束与材料的相互作用 入射电子照射固体时，与固体中粒子的相互作用包括： （1）入射电子的散射； （2）入射电子对固体的激发； （3）受激发粒子在固体中的传播。 一、散射 当一束聚焦电子沿一定方向射到固体上时，在固体原子的库仑电场作用下，入射电子方向将发生改变，这种现象称为（电子）散射。 有散射弹性和非弹性散射之分。 原子中的原子核和核外电子对入射电子均有散射作用。 1. 原子核对入射电子的散射 有弹性散射和非弹性散射。 散射损失的能量 ?Emax=2.17×10-3E0Asin2θ 3-1 散射角（2q）即散射电子运动方向与入射方向之间的夹角。 非弹性散射损失的能量DE转化为