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产品特写 基于单片机的四探针测试系统的研制 摘 要 利用改进的 Rymaszewski 法自动消除探针纵向游移影响的优点，将它应用于斜置式方形探针测试 法中；在斜置式方形四探针机械平台的基础上，完成了整个测试电路的硬件设计和软件编程，研制出一台 具有输出高精度高稳定性恒流源的斜置式方形探针分析仪。该系统是基于单片机的智能化控制系统，实现 了 10μA~1mA、步长为 10μA 的高精度数字控制恒流源，具有较高精度的电压测量电路，并能和上位机 PC 进行RS-232 串口通讯。 关键词：四探针测试技术；微区薄层电阻；改进 Rymaszewski 法；数控恒流源 中图分类号：TP274 文献标识码：A 文章编号：1006-883X（2009）02-0052-06 常涛 孙以材 潘国峰 一、引言 随着科学技术的飞速发展，计算机不断更新换代，集成电路已由超大规模（VLSI ）向甚大规模(ULSI)阶 段发展。芯片的特征尺寸不断缩小，这一方面要求圆片直径不断增大以提高生产率，另一方面对晶体的完美 性、机械及电特性也提出了更为严格的要求，特别是微区的电学特性及其均匀性已经成为决定器件性能优劣 的关键因素。因此，微区电阻率的测试成为芯片加工中的重要工序。 为了更好的保证芯片的生产质量和最终产品的性能，需要深入开展四探针测试仪器的研究。本文利用改 进的 Rymaszewski 法自动消除探针纵向游移影响的优点，将它应用于 斜置式方形探针测试法中；在斜置式方形四探针机械平台的基础上， 完成了整个测试电路的硬件设计和软件编程，研制出一台具有高精度、 高稳定性恒流源的斜置式方形探针分析仪。图 1 为斜置式方形探针测 试仪。 二、四探针测试系统的总体硬件设计 本系统采用模块化的自上而下设计，即把系统分为 5 个模块：恒 流源模块、电压测量模块、前端开关转换模块、系统与上位机的串口 图1 斜置式方形探针测试仪 通讯模块和人机界面模块。5 个模块由单片机进行控制协调和资源分 配。系统供电电源是±15V，由稳压电源供电，在此不作讨论。 1、系统工作原理 图 2 为测试系统结构框图。首先通过键盘选择电流、电压通道，并在 4 位数码管上显示，然后从键盘输 入想要的恒流值大小，按下确认键后单片机开始控制 DAC 输出和恒流值对应的电压，从 DAC 输出的电压经 过 V/I 变换得到和输入恒流值一致的电流送往探头开关模块，这样就从先前指定的探针（1，2 ，3，4 四根探 针的任意连续两根）输出想要的恒流；这时需要四根探针和硅片有良好的接触，探头开关模块获得另外两根 探针各自的电位，送往前端电压采集调理电路，将两个电位信号进行差分放大、电压跟随、高压保护后（得 52 传感器世界 2009.02 Products Feature 四位LED 12 位 DAC 高精度 前端 1，2 线，P2.5 、P2.6 、P2.7 分别连接 TLC5618 数码管显示 电路部分 V/I 变换 探头 3，4 的CS 、SCLK、DIN 三个引脚。 AT89S52 开关 四根 4×4 单片机 12 位 ADC 前端电压 转换 探针 （4 ）P3 口：此8 位 I/O 口用于实现串 矩阵键盘 电压测量电路 采集调理 模块 口通信和对前端探头开关转换模块的控