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基于MEMS技术的微型直接甲醇燃料电池的设计与制作.pdf
7 1 Vol.7 No.1
2009 1 Nanotechnology and Precision Engineering Jan. 2009
MEMS
1 1 1 1 1,2
1. MEMS 150001
2. 150001
MEMS
1.5 mol/L
5.9 mW/cm2
TM911.4 1672-6030 2009 01-0076-05
Design and Fabrication of Micro Direct Methanol Fuel Cells
Based on MEMS Technology
TANG Xiao-chuan1ZHANG Yu-feng1ZHANG Bo1WANG Xi-lian1LIU Xiao-wei1,2
1. MEMS CenterHarbin Institute of TechnologyHarbin 150001China
2. Key Laboratory of Micro-Systems and Micro-Structures Manufacturing of Ministry of Education,
Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, China
Abstract A silicon-based micro direct methanol fuel cellµDMFCwas presented in this paperwhich bears the charac-
teristics of simple configurationsmall size and high specific power densities. Some field configurations were optimized by
the simulation and reliable proofs were provided for the optimized design of the plates of µDMFC. The silicon-based
µDMFC was accomplished using MEMS technologyand the performance of µDMFC with the parallel flow field was bet-
ter than those with the other flow fields at different flow field structures. The result is in conformity with that of the simula-
tion. The maximum output power
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