基于MEMS的微泵研究进展_王沫然.pdfVIP

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2017-05-13 发布于广东
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基于MEMS的微泵研究进展_王沫然.pdf

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基于MEMS的微泵研究进展_王沫然.pdf

( ) 　2002 年第 2 1 卷第 6 期　　　　　　　　　　传感器技术 Journal of Transducer Technology 　　 59 基于 MEMS 的微泵研究进展王沫然 , 李志信 (清华大学工程力学系 ,北京 100084) 摘　要 : 主要介绍了基于 M EM S 的微泵 10 年来的研究成果和研究现状。微泵是微电子机械系统 (M EM S) 中重要的执行器件 ,在系统中占有很重要的地位。微泵可以分为有阀泵和无阀泵两大类 ,一般来说 ,有阀泵的制造工艺和应用技术比较成熟 ,但存在加工尺寸限制和使用寿命的问题 ;无阀泵的原理新颖 , 结构相对简单 ,更适合微型化发展 ,是目前研究的热点。关键词 : 微泵 ; 微电子机械系统 ; 有阀泵 ; 无阀泵中图分类号 : TH137 . 5 1 ; TP27 1+ .4 　　文献标识码 : A 　　文章编号 : 1000 - 9787 (2002) 06 - 0059 - 03 Investigation process of micropump based on MEMS WAN G Moran , L I Zhixin ( Dept of Engin Mech , Tsinghua University , Beij ing100084 , China) Abstract : The research on t he micropump in t he p ast decade is reviewed . Micropump ,as an important executive device of M EM S ,plays a very important role in micro systems. They are divided into two typ es t hat are pump s wit h valves and t hose wit hout t hem . In general ,t he manufacture and t he application of t he valved micropump s are rip e ,however t he size limitation of fabrication and t he problem of short op erating life have always been trou ble . The valveless micropump is novel in mechanism ,simple in structure ,and suitable for micromation . And now it has been a hot research field . Key words : micropump ; M EM S ; valved micropump ; valveless micropump 0 　引　言程等领域 ,而且在家庭服务、人体研究及环境治理等 ( ) 微电子机械系统 M EM S 是 20 世纪末兴起并