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2012年 第31卷 第 11期 传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies) 81 一 种应用于微型气体流量计的低噪声信号采集系统 李 辉，刘 鲲 (安徽师范大学 物理与 电子信息学院，安徽 芜湖 241000) 摘 要：针对微型气体流量计对微弱信号采集的要求，采用超低偏置 电流的放大芯片LMP7721，辅以 Guard环保护技术，再加上24位高精度A／D转换器ADS1211，设计了一种超高分辨率 、低噪声的弱信号采 集系统。通过将数字和模拟部分分开布局 ，以及合理的电源和地线设计 ，系统的性能得到了保证。实验表 明：采集系统的最小可分辨信号接近0．1mV，噪声RMS值小于50 V。 关键词：微型气体流量计；Guard环；高精度A／D转换器；低噪声信号采集系统 中图分类号：TP212 文献标识码：A 文章编号：1000-9787(2012)11-0081-03 A‘一low noi●sesig‘na_lacqui-s-iti·-on syste·m app_li-ed_i■n m i●cro gasflowmeter LIHui，LIU Kun (SchoolofPhysicsandElectronicsInformation，AnhuiNormalUniversity，Wuhu241000，China) Abstract：Aimingatrequirementofmicrogasflowmeteronweak signalacquisition，superlow offsetcurrent amplifierchipLMP7721withGuardringprotectiontechnology，and24bitA／Dconve~erADS1211areusedinthe design．A super—high resolution and low noise weak signalacquisition system isdesigned．Performanceofthe system isguaranted，digitalandanalogpartmustbelaidoutseparately，andpowerandgroundwiresalsoshouldbe plannedreasonably．Theexperimentshowstheleastresolvedsignaliscloseto0．1mV．andthenoiseRMSisless than50tzV． Keywords：microgasflowmeter；Guardring；highprecisionA／D converter；low noisesignalacquisitionsystem 0 引 言 A／D转换器与MCU处理 、运算后 ，即可反演出对应的流速 微型气体流量计用于检测微小气体流量，在精密半导 值，测量结果可由LCD显示 ，或通过串口等通信接 口在上 体 、微型色谱系统、反应装置系统以及真空镀膜等领域有着 位机显示实时的测量曲线。 广泛的应用。这种仪器的特点在于能监测到微小的流量变 化，如分辨率达 0．01mL／min的流速变化，这就要求相关联 的信号采集系统具有相应的高分辨能力，因此 ，研制低噪声 图1 气体流量计系统框图 水平的超高分辨率信号采集系统就显得尤为重要…。本 Fig 1 System blockdiagram ofgasflowmeter 文利用超低偏置 电流放大芯片LMP7721，辅以Guard环保 护技术 ，再 配 合 BB公 司的 4通道 24位 A／D转换 器 ADS1211，设计