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一种多晶硅应变片的设计与应用 　　摘要：本文介绍了一种适用于特殊环境进行高温测量的多晶硅应变片以及粘贴方法，并进行了性能测试。该种应变片已用于检测电站锅炉焊缝的牢固程度，效果较为理想。 　　Abstract: Polysilicon strain-gage being applied to special environment is introduced，including principle，design,manufacture technology and bonding method, meanwhile, its performance is tested. In practice application, the performance is better. 　　关键词：多晶硅；应变片；粘接 　　Key words: polysilicon；strain-gage；bonding 　　中图分类号：TM54 文献标识码：A文章编号：1006-4311（2010）33-0292-01 　　 　　0引言 　　在工程中，有时需要对设备的特定部位进行高温应变的测量。焊缝的牢固程度直接关系到设备的正常使用及生命财产安全，在锅炉实际运行中，焊缝所承受的应变是了解设备状态的一个重要数据，我们对此进行了研究。应变的测量一般采用金属箔式应变计、体型硅应变计、单晶硅应变计。金属箔式应变片的基底材料常为有机薄膜，单晶硅应变片采用PN结隔离，因此难以耐受7锅炉容器的200℃以上的工作温度；体型硅应变计往往体积偏大，难以用在不太平整的焊缝上，因此我们研制了多晶硅应变计。 　　1多晶硅应变计 　　1.1 多晶硅薄膜的应变效应多晶硅的应变原理如图1所示[1]： 　　无应变时：R=RC+RG 　　加应变时：R=RC+RG；RC= RC+△RC；RG≈RG；R=RC+ RG+△R 　　式中：RC-晶粒电阻值；RG-晶界电阻值。 　　应变率：（GF）=? 　　式中：R，△R-电阻值及电阻变化值；ε-应变。 　　多晶体是由微小的晶粒聚合而成，其晶粒排布杂乱无序，可先按晶向和应变方向计算出多晶体的应变率（GF），然后再求平均值，并以平均值作为多晶体的应变率。此时的应变率与晶粒大小有关，一般说来，晶粒越大应变率也越大。图2所示为与晶粒相对应的应变率（计算值）。实测值小于理论值，这是因为受晶粒间接影响的缘故。 　　1.2 多晶硅应变计的设计将多晶硅应变片设计为全桥应变片[2]，其中两个多晶硅电阻受拉应力时，另外两个多晶硅电阻则受压应力。如图3所示。 　　图3中共有11个引出电极，在实际应用时可以用来调节零位输出及做温度补偿电阻使用，通常用法是由1、2、3、4压点引出组成全桥。 　　2多晶硅应变片的制作工艺（如图4） 　　其中，制做多晶硅应变片与制作常规的多晶硅压力传感器的主要不同点在于：制作正面图形时需刻出相应的V型分离槽，制做完正面图形后将正面粘贴到基片上，利用各向同性腐蚀液（腐蚀液配比比例：硝酸：氢氟酸：冰乙酸＝5：1：0.1，体积比）进行化学减薄，减薄到V型槽的下边缘停止腐蚀，从而完成多晶硅应变片的制作。 　　另外，多晶硅薄膜的掺杂浓度对其灵敏度系数及温度系数有较大的影响。在实际应用中必须综合考虑，确定合适的掺杂浓度。 　　3粘接剂的选择及应变片的标定 　　常规的应变胶不耐高温，高温应变胶需要加温、加压固化，因此我们选择了一般不用作应变胶的502胶、504胶、704胶来做特殊的应用研究。并对所做多晶硅应变片分别用502胶、504胶、704胶粘贴再等强度梁上测试，在室温条件下对应变系数测了得结果分别为：502胶：G=22.8；504胶：G=21.2；704胶：G=15.6。从测得的应变系数G值看，使用502胶、504胶、704胶进行粘贴均可。但对大型电力设备中的锅炉焊缝应力的测量，温度达200℃以上，安装时需仰视，不能加压加温固化，对于这种苛刻的安装条件，由于502胶、504胶在高温下的性能不如704胶，因此在实际应用中使用704胶进行粘接。取一只上述全桥应变片，采用2VDc电压供电，其测试结果如下表1： 　　从上述测试数据可以看出，随着温度的升高，输出灵敏度逐渐降低，在200℃以上变化并不明显。 　　4实际应用及结论 　　在不同的温度和应变条件下，测出全桥多晶硅应变片的输出。在实际使用时在应变片附近位置装上铂膜热敏电阻，根据铂膜电阻阻值测出现场温度；根据多晶硅应变片的输出值推算出应变值。该种应变片在大型发电厂的锅炉焊缝高温应变的测试中得到应用，取得了较为满意的测试效果。 　　参考文献： 　　[1][美]格雷戈里T.A.科瓦奇.微传感器与微执行器[Z].张文栋等，译.2003，3. 　　[2]何希才