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一种自混合传感器中VCSEL的优化设计 　　摘要:自混合传感器中的垂直腔面发射激光器(VCSEL),是其一个重要的组成部分,VCSEL对自混合传感器的应用有重要影响。为了使自混合信号最大化,我们优化了VCSEL的外围设计。其中,最重要的部分是量子阱数目和布拉格反射镜数目的改变,以及探测器位置的变化,本文仿真了带反馈VCSEL的光输出能力的变化。 　　Abstract: VCSEL is a very important component for self-mixing feedback system, and it will influence the application of self-mixing sensing enormously. We have optimized th epitaxial design of the VCSEL, in order to maximize the self-mixing signal for a given feedback. The most important parameters are the number of quantum wells, the number of bragg mirrors (reflection), and the detector position. 　　 　　关键词:自混合;传感器;VCSEL 　　 　　Key words: self-mixing;sensing;VCSEL 　　中图分类号:TP212 文献标识码:A文章编号:1006-4311(2010)08-0001-03 　　 　　0引言 　　 　　激光器中的自混合是指:外界物体通过外腔返回的反馈光和原来信号进行混合,改变了激光器发出的激光信号的阈值增益和相位;从而改变了光的斜率效率,输出功率和频谱。在光通信中,激光器的自混合现象是一个不利因素[1],因为它引起的光噪声、谱线展宽、相干碎灭等现象会给激光系统带来致命的破坏。垂直腔面发射激光器的设计中总是以消除自混合现象为一重要内容。然而,现在自混合现象已经被研究者广泛运用在测量领域[2],包括距离测量、速度测量、位移测量等。其高精密度和准确度、无伤测量使之在高精密测量领域很有优势[3]。微机械悬臂粱的毫微米(10-10m)级别测量,又将成为其一个伟大的应用[4]。通过优化VCSEL外部设计来使自混合信号最大化,现在还没有相关文献作品出现。根据参考文献[2],在光反馈系统中,输出镜反射率是一个重要参数。在我们的设计中,从另一个角度利用文献[2]中的结论,我们降低输出镜的反射率,以使我们的设计效果更加明显。但这样也带来负面因素:损耗急剧增大,且此损耗不会被量子阱的增益所改善。 　　本文给出一种改善的方法:即通过改进增益材质和反射镜反射率,很好的优化了自混合信号。根据我们的实验模型,我们发现,顶镜和底镜的已调输出光信号的强度有很大区别(见图1,PDt和PDb分别表示顶镜和底镜)。这说明只把面向反馈的镜面(即文献2中的输出镜)作为研究对象并不是最好选择。 　　 　　1仿真系统 　　 　　我们在激光器和悬臂之间搭建一个微外腔,长度在35~200μm;表面涂有一层薄的有机薄膜(约50nm)。传感器的悬臂会随着测量对象的状况而震动,从而,导致外腔长度(Z)的的变化,反馈光的相位也随外腔长度的变化而周期性的变化,周期为发出光的半波波长。由此,我们可以通过测量超过阈值的输出功率,得到毫微米级别的震动信息。 　　=((I-I)-η)(1) 　　h为普朗克常量;v为激光频率;q为电子电荷,ηd为量子效率的微分量,Ith为阈值电流。调制深度(或称为可见度)我们定义为: 　　V==(2) 　　能见度可以很好的表征处传感器的灵敏度和固有信噪比(不计外界误差幅度影响),它将是本文主要的测量对象。 　　由于半导体激光器的设计多集成了光检器[5](如图1中的PDb)[5],这样整个传感器会非常的紧凑,紧固,简洁,且更容易实现量产。激光器的结点电压的变化量或者阈值电流可以用万用表记录下来,详见图1。 　　 　　2标准的VCSEL结构 　　 　　我们研究的标准的VCSEL结构为:由3个6nm的In0.17Ga0.83As/GaAs0.92P0.08结构的量子阱发出的970nm光的激光器,放置一个38电子偶的底端分布式布拉格反射镜和一个23电子偶的顶端分布式布拉格反射镜(AlxGa1-xAs,x:0.12-0.9)之间。我们之所以选择这种材质,是因为这种InGaAs的紧凑结构有高的增益,且使底层结构为透明的比较方便。反射镜都参杂Np=2.5×1018cm-3和Nn=1.5-2.0×1018cm-3,杂质损耗设定为(11×1