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2011年第30卷 第 12期 传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies) 109 一 种用于微喷的感应加热器设计与仿真 常文博，李德胜，刘本东 (北京工业大学 机电学院，北京 100124) 摘 要：提出了一种用于热微喷头的感应加热器新结构。进行了相关的结构和工艺设计 ，在 MEMS工艺 环境下制作出了可以非接触加热，工艺结构简单 ，使用寿命长的微感应加热器。使用 ANSYS对微感应加 热器进行了建模和仿真分析，结果显示 ：感应加热器的最大加热功率可达到5mW 以上，满足设计要求，同 时得到了感应加热器的功率影响因素。 关键词：微加热器；感应加热 ；微机电系统；微喷嘴；ANSYS 中图分类号：TP215 文献标识码 ：A 文章编号：1000-9787(2011)12--0109-03 Designandsimulationofan inductiveheaterformicronozzle CHANGW en—bo，LIDe·sheng，LIU Ben—dong (SchoolofMechanicalEngineeringandAppliedElectronicsTechnology， BeijingUniversityofTechnoloyg ，Beijing100124，China) Abstract：A new structureofmicroinductiveheaterformicronozzleisproposed．Theinductiveheaterhassome advantagessuchasnon．contactheating，simpleprocessandlonglifetime．Theprototypeoftheheaterisdesigned bvtheoreticalcalculmionandfabricatedinMEMS laboratory．Theheatingpoweriscalculatedandanalyzedby ANSYS．Itshows thatthe powerofthe inductive heater could exceed 5 mw．Th e resultmeetsthe design requirements． Keywords：microheater；inductiveheating；MEMS；micronozzle；ANSYS 0 引 言 电流来加热 ，因此，微感应加热器的工作效率主要受两方面 热微喷头广泛应用于喷墨打印机和微泵等产品或器件 影响。一是要让交变磁场尽可能强地作用于加热部件，而 中n ]。而此类产品和器件通常都采用电阻器加热的方 磁场强度的变化与距离呈指数式衰减 ，这对非接触式加热 式。当电阻器作为电路的一部分与加热液体接触，会因为 的特性有一定制约。通过采用导磁性材料制作加热部件， 电化学或静电现象等因素影响加热器效果或直接造成器件 可有效加强交变磁场作用效果。坡莫合金作为一种应用广 故障 。 泛的导磁性材料，具有价格便宜，曰坍 曲线线性区间宽的优 感应加热技术是根据电磁感应现象发展而来 ，因为其 点 J，是最为理想的感应加热板材料。其次，交变磁场作 具有非接触加热的特性 ，可以为解决上述问题提供一条很 用于任何导体都会因为电磁感应而产生感应电流，这对热 好的思路。此外，感应加热还因具有热响应快、温度易控等 功率的输出是一种损失，因此，选用绝缘体的玻璃作为基 特点而在许多领域有着重要应用 。]。