椭圆偏振光法测量薄膜的厚度及折射率改进.docVIP

椭圆偏振光法测量薄膜的厚度和折射率改进 ? [摘 要 ]： 通过利用椭圆偏振光和线偏振光的变化以及偏振光的反射、折射，有菲涅尔公式推导，进而测得薄膜的厚度和折射率。做出具体的计算机画图程序便于查找计算，并分析现有仪器的缺陷，改进测量薄膜厚度的方法。引入不同波长的激光光源来解决周期厚度的问题，同时提供了确定波片快慢轴的方法。 ? [关键词]：椭圆偏振光 菲涅尔公式 画图程序 厚度周期数 快轴 多光束干 涉 算法 ? 正文 对于厚度在纳米级（约为10米）的薄膜，其厚度的精确测量。椭偏法有着很高的精确度（比一般的干涉法高一至二个数量级）和灵敏度，它的误差范围低于纳米级。但是因为数学上的困难，直到上个世纪五六十年代计算机出现以后椭偏法才真正发展起来。除了测量薄膜的厚度和折射率，椭偏法广泛应用于各个领域，如测定金属的复折射率和材料的吸收系数等光学上的应用，以及在半导体，化学，生物和医学等。 这里简单由实验原理推导， 先把最终的公式列出 对于本实验，所用仪器是让波长单一的单色光经起偏器后变为线偏振光，使之通过1/4的波片同时让快轴与