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2017-05-16 发布于湖北
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故障排除说明

No. 错误现象解决方法需要在Hennecke工程师培训下完成 11，检查显示测量值为0的是哪一个模块，然后在路由器KVM显示转换界面上打开这个模块的显 11 示器，先进行软件重启（关闭该模块的软件窗口，软件会再次自动启动）,如果无效就重启该故障模块电脑系统（进入该电脑XP关闭计算机界面重启系统)。 22 ，如果还是无效，需要重启Measuring server软件，关闭Measuring server后自动重启。 22 33 ，如果无效，先在PLC主操作界面点击stop停机，然后关闭主电源红色圆形开关-逆时针旋主 33 电源开关到Off,5秒后再顺时针旋转到On-PLC需要重启-点击Acknowledge-点击Controller On-系统恢复正常。 44 ，如果还是无效，需要检查该模块的CCD（E+H模块需要检查白色控制柜）的状态，此时需要 44 关闭所有电脑然后关闭UPS给这些设备断电重启。如果是专业人员，可以直接检查该模块CCD的电源接插口，并且进行热插拔重启。E+H模块的电源重启如下图所示，开关电源开关可以重启 E+H系统。 55 ，如果E+H的厚度测量值在重启控制系统电源后还是异常，检查 55 E+H的白色传感器里面有没有碎片，用压缩空气吹扫一下，然后再用厚度校准片校准一下。 66, 如果故障依旧,需要先停掉皮带,然后再E+H模块中放一张硅片，然后在Measuring server中 66 点击点击--第一行第一行ThicknessThickness--点击点击MeasuringMeasuring，，察看有没有测量数据察看有没有测量数据，，如果有数据如果有数据，，说明设定延时说明设定延时发生错误，需要在Extra-options-station-station中间进行Thickness的延时修改， Lifetime的类似故障依此类推，其他模块可以根据察看照片中硅片的有无和位置来判断。主服务器的Meas