多晶硅净化系统过滤元件再生机理研究.pdf

学兔兔 第 33卷第 6期 粉末冶金技术 V01．33．No．6 2015年 12月 PowderM etallurgyTechnology Dee．2O15 多晶硅净化系统过滤元件再生机理研究 李 烨 汪强兵 王 建 杨 坤 杨保军 (西北有色金属研究院金属多孔材料国家重点实验室，陕西 西安 710016) 摘 要： 采用酸浸和高温气体还原的方法，对某多晶硅厂的堵塞过滤元件进行再生。结果发现：固体颗粒在 不锈钢过滤管中的附着形态分为两类 ：一类为颗粒在孑L道 中粘结在一起形成大块颗粒 ，完全堵塞在不锈钢过 滤管的孔道中；另一类为颗粒粘附在孔道壁上，减小了不锈钢过滤管孔径的大小。过滤元件经过酸浸和高温 烧结的联合方法再后 ，过滤元件的透气系数恢复了88．5％，过滤精度为 1．3 m，压溃强度提高至 131MPa。 性能达到使用要求，从而创造社会经济价值。 关键词：不锈钢过滤管；酸浸；高温烧结 ；再生 A studyoftheregeneration mechanism offilterelementsin p0lysilic0npurificati0n system LiYe，WangQiangbing，WangJian，YangKun，YangBaojan (StateKeyLaboratoryofPorousMetals，NorthwestInstiuteForNon—ferrousMetalResarch，Xian710016，China) Abstract：Acidleachingandhigh—temperaturegasreductionareappliedtoregeneratethecloggedfilterelementsof polysiliconplant．Theresultsshow thattheattachmentofsolidparticlesinstainlesssteelfiltertubecanbedivided intotwocategories：oneisthelargeparticleformedbythebondingofparticlesinpores，completelyblockedinpores ofthestainlesssteelfiltertube；theotherisalayerofoxidefilm formedbytheparticlesattachedtothecellwalls， whichreducesthesizeoftheapertureofstainlesssteelfilterpipe．Afterthecombinationofacidleachingandhigh— temperaturesintering，thefilterelementandthen，anapproachforrealizingthereuseofstainlesssteelisproposedby thehigh—temperaturesintering inhydrogen atmosphereafterHF acid leachingandcleaningofstainlesssteelfilter tube．Theresultsshow thatthepermeabilitycoefficientofthefiltertu