高纯钨研究现状及制备工艺方法综述.pdfVIP

学兔兔 第30卷第3期 粉末冶金技术 Vo1．30，No．3 2012年6月 Powder Metallurgy Technology Jun．2012 高纯钨研究现状及制备工艺方法综述木 刘文胜一 龙路平一 马运柱 (中南大学粉末冶金国家重点实验室，长沙 410083) 摘 要： 高纯钨具有很高的附加价值，其市场前景与集成电路发展密切相关，高纯钨的净化是目前高纯钨生 产中的重要研究课题。简要介绍了国内外高纯钨的生产现状、制备工艺及其纯度表征，在此基础上进行了展 望。 关键词：高纯钨；微电子；钨靶；净化；精炼 Research and preparation methods for high·purity tungsten Li